KDP晶体超声辅助磨削的亚表面损伤研究

人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (1): 67-71.

KDP晶体超声辅助磨削的亚表面损伤研究

王强国;高航;裴志坚;鲁春朋;王碧玲;滕晓辑

大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024;堪萨斯州立大学工业与制造系统工程系,曼哈顿,66506

出版日期:2010-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金重点项目(50535020);山东大学晶体材料国家重点实验室开放课题(KF0904)

Study on the Subsurface Damage of KDP Crystal Ground with Ultrasonic Vibration Assistance

Online:2010-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 通过采用角度抛光和逐层抛光法以及择优化学腐蚀,对基于超声辅助磨削的KDP晶体试件进行亚表面损伤形式观察以及损伤深度检测,以便为后续加工提供指导.损伤检测实验表明:在超声辅助磨削工艺条件下,亚表面损伤以与磨粒运动方向平行的中位裂纹为主,且裂纹间距具有一定的规律性;亚表面损伤深度为19～48 μm,磨头形状(有无倒角)较之磨头磨粒粒度对亚表面损伤深度具有更大的影响,使用有倒角的磨头可得最小亚表面损伤.

中图分类号:

O643

王强国;高航;裴志坚;鲁春朋;王碧玲;滕晓辑. KDP晶体超声辅助磨削的亚表面损伤研究[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(1): 67-71.

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KDP晶体超声辅助磨削的亚表面损伤研究

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