晶体生长炉的PID神经网络温度控制算法

人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (5): 1302-1307.

晶体生长炉的PID神经网络温度控制算法

仲元昌;郭耿涛;贾年龙;赵贞贞

重庆大学通信工程学院通信与测控中心,重庆,400044

出版日期:2010-10-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(50875272);重庆市自然科学基金资助项目(CSTC;2008BB2340)

Study on PID Neural Network Temperature Control Algorithm for Crystal Growth Furnace

ZHONG Yuan-chang;GUO Geng-tao;JIA Nian-long;ZHAO Zhen-zhen

Online:2010-10-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文采用了数字PID与神经网络相融合的晶体生长炉温度测控方法,设计了生长晶体的PID神经网络温度控制器,并用FPGA(Field Programmable Gate Array)实现了PID神经网络的并行结构;神经网络采用符合32位IEEE754的单精度浮点数运算单元.理论分析和仿真结果表明:该PID神经网络温度控制器具有很高的控制精度和响应速度,有利于提高晶体生长炉的控温精度和加热效率.

中图分类号:

仲元昌;郭耿涛;贾年龙;赵贞贞. 晶体生长炉的PID神经网络温度控制算法[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(5): 1302-1307.

ZHONG Yuan-chang;GUO Geng-tao;JIA Nian-long;ZHAO Zhen-zhen. Study on PID Neural Network Temperature Control Algorithm for Crystal Growth Furnace[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2010, 39(5): 1302-1307.

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