热处理工艺对超声电沉积制备CuInSe2薄膜的影响

人工晶体学报 ›› 2011, Vol. 40 ›› Issue (1): 119-123.

热处理工艺对超声电沉积制备CuInSe2薄膜的影响

邹正光;聂小明;龙飞;陈壁滔

桂林理工大学有色金属材料及其加工新技术教育部重点实验室,桂林,541004

出版日期:2011-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家科技部科技人员服务企业行动项目(2009GJE10009);国家自然科学基金(50902024);广西科学研究与技术开发计划(桂科攻0895002-3)

Influences of Heat Treatment on CuInSe2 Films Prepared by Ultrasounic Electrodeposition

ZOU Zheng-guang;NIE Xiao-ming;LONG Fei;CHEN Bi-tao

Online:2011-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用三电极系统,在超声辅助下,以Mo薄片为柔性基底制备了CuInSe2(CIS)前驱体薄膜,经热处理得到了具有黄铜矿型晶体结构的CIS薄膜.研究了热处理温度,保温时间和升温速率对CuInSe2薄膜成分、物相及形貌的影响.结果表明:热处理使薄膜物相变得纯净,随着热处理温度的提高、保温时间的延长和升温速率的减慢,结晶度提高.温度过高、时间过长制备的CIS薄膜表面有大颗粒出现以至表面粗糙度增加、颗粒不均匀.

中图分类号:

TQ132.35

邹正光;聂小明;龙飞;陈壁滔. 热处理工艺对超声电沉积制备CuInSe2薄膜的影响[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(1): 119-123.

ZOU Zheng-guang;NIE Xiao-ming;LONG Fei;CHEN Bi-tao. Influences of Heat Treatment on CuInSe2 Films Prepared by Ultrasounic Electrodeposition[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2011, 40(1): 119-123.