含Ni-Al阻挡层硅基BiFe0.95Mn0.05O3铁电电容器的结构及物理性能

人工晶体学报 ›› 2011, Vol. 40 ›› Issue (1): 33-37.

含Ni-Al阻挡层硅基BiFe0.95Mn0.05O3铁电电容器的结构及物理性能

陈剑辉;刘保亭;魏大勇;王宽冒;崔永亮;王英龙;赵庆勋;韦梦袆

河北大学物理科学与技术学院,保定,071002

出版日期:2011-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学(60876055;11074063);河北省自然科学基金(E2008000620);河北省应用基础研究计划重点基础研究项目(10963525D);高等学校博士点基金(20091301110002)

Structure and Physical Properties of Si-based BiFe0.95Mn0.05O3Ferroelectric Capacitor Using Ni-Al as the Barrier Layer

CHEN Jian-hui;LIU Bao-ting;WEI Da-yong;WANG Kuan-mao;CUI Yong-liang;WANG Ying-long;ZHAO Qing-xun;WEI Meng-yi

Online:2011-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 以Ni-Al为阻挡层,在Si衬底上构架了SrRuO3(SRO)/BiFe0.95Mn<0.05O3(BFMO)/SRO异质结电容器.x射线衍射(XRD)分析表明:Ni-Al阻挡层为非晶结构,BFMO薄膜为具有良好结晶质量的多晶结构.在5 kHz测试频率下,SRO/BFMO/SRO电容器呈现饱和的电滞回线.实验发现,SRO/BFMO/SRO铁电电容器具有良好的抗疲劳性能.漏电机制研究表明,外加电场小于210 kV/cm时,SRO/BFMO/SRO电容器满足欧姆导电机制,在电场大于210kV/cm时,满足空间电荷限流传导机制.

中图分类号:

O646.1

陈剑辉;刘保亭;魏大勇;王宽冒;崔永亮;王英龙;赵庆勋;韦梦袆. 含Ni-Al阻挡层硅基BiFe0.95Mn0.05O3铁电电容器的结构及物理性能[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(1): 33-37.

CHEN Jian-hui;LIU Bao-ting;WEI Da-yong;WANG Kuan-mao;CUI Yong-liang;WANG Ying-long;ZHAO Qing-xun;WEI Meng-yi. Structure and Physical Properties of Si-based BiFe0.95Mn0.05O3Ferroelectric Capacitor Using Ni-Al as the Barrier Layer[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2011, 40(1): 33-37.

[1]	姜澄溢;刘浩楠;张富宝;季福云;徐胜;万勇. 光子晶体在太阳能电池中的应用[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(2): 292-296.
[2]	刘卓佳;刘保亭;彭增伟;代秀红;闫会芳;付跃举;赵庆勋. Pb过量对以Ti-Al为阻挡层的硅基铁电电容器极化翻转性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(6): 1552-1556.
[3]	万勇;赵修松;蔡仲雨;李洪亮;夏临华. 利用水平沉积法制作PS微球二元胶体薄膜及其它复杂结构[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(5): 1295-1298.
[4]	万勇;蔡仲雨;赵修松;李洪亮;夏临华. PS微球胶体晶体及其反相SiO2结构的制备和表征[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(1): 150-154.