直拉硅单晶放肩过程的有限元数值模拟与控制参数研究

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (1): 58-64.

直拉硅单晶放肩过程的有限元数值模拟与控制参数研究

张晶;刘丁;赵跃;焦尚彬

西安理工大学自动化与信息工程学院,西安,710048

出版日期:2013-01-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家科技重大专项(2009ZX02011001);教育部科学技术研究重点项目资助项目(212169)

Finite Element Numerical Simulation and Control Parameter of Czochralski Silicon Monocrystal during Shoulder Growth Process

ZHANG Jing;LIU Ding;ZHAO Yue;JIAO Shang-bin

Online:2013-01-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 放肩是直拉法生长硅单晶保持无位错生长的过程,是晶体能够顺利进入等径生长的关键.生产实践中发现,在放肩前段经常出现液流线切人晶体随之变晶的现象.本文提出了放肩前期的变晶转拉晶工艺,采用有限元数值模拟的方法计算出熔体热对流及温度分布,给出了固液界面附近熔体中的流速变化规律,解释了液流线的成因,通过仿真结果和拉晶实验结果表明该方法的有效性.

中图分类号:

张晶;刘丁;赵跃;焦尚彬. 直拉硅单晶放肩过程的有限元数值模拟与控制参数研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(1): 58-64.

ZHANG Jing;LIU Ding;ZHAO Yue;JIAO Shang-bin. Finite Element Numerical Simulation and Control Parameter of Czochralski Silicon Monocrystal during Shoulder Growth Process[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2013, 42(1): 58-64.

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