升温程序对6H-SiC晶体生长初期籽晶石墨化的影响

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (5): 847-850.

升温程序对6H-SiC晶体生长初期籽晶石墨化的影响

刘熙;高攀;严成锋;孔海宽;忻隽;陈建军;施尔畏

中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050

出版日期:2013-05-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
中国科学院上海硅酸盐研究所科技创新项目

Effects of Temperature Rising Program on the Graphitization of Seed Crystal during the Initial Growth of 6H-SiC Crystal

LIU Xi;GAO Pan;YAN Cheng-feng;KONG Hai-kuan;XIN Jun;CHEN Jian-jun;SHI Er-wei

Online:2013-05-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文利用有限元方法模拟不同升温程序对籽晶石墨化的影响,计算表明籽晶表面石墨化层厚度是由“倒温度差”区间的温度、持续时间和“倒温度差”绝对值综合决定.在升温程序初期可以采用较小功率阶梯加热,迅速升温节约时间；中期可以采用从现有功率线性加热至额定功率,这样使得籽晶原料“倒温度差”区间内温度值变小且减缓反应；同时还使“倒温度差”绝对值减小,抑制籽晶和原料间的输运.同时籽晶石墨化实验通过元素线扫描测量出石墨层厚度,也证实了理论计算的结果.

中图分类号:

TB321

刘熙;高攀;严成锋;孔海宽;忻隽;陈建军;施尔畏. 升温程序对6H-SiC晶体生长初期籽晶石墨化的影响[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(5): 847-850.

LIU Xi;GAO Pan;YAN Cheng-feng;KONG Hai-kuan;XIN Jun;CHEN Jian-jun;SHI Er-wei. Effects of Temperature Rising Program on the Graphitization of Seed Crystal during the Initial Growth of 6H-SiC Crystal[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2013, 42(5): 847-850.

[1]	芮阳, 王忠保, 盛旺, 倪浩然, 熊欢, 邹啟鹏, 陈炜南, 黄柳青, 罗学涛. 热屏结构对200 mm半导体级提拉单晶硅中氧含量分布的影响[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(6): 1110-1119.
[2]	丁羽, 张金才, 王宝凤, 郭彦霞, 薛芳斌, 程芳琴. 电石渣可控制备多晶型、多形貌纳米碳酸钙的研究进展[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(4): 710-720.
[3]	赵国彦, 瞿立, 李进, 马润. 高温循环载荷下石英坩埚气孔-裂纹应力强度因子数值模拟[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(3): 493-500.
[4]	平晨, 贾志刚, 董海亮, 张爱琴, 许并社. 垒层温度对InGaN量子点/量子阱复合结构内量子效率的影响[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(5): 809-815.
[5]	张利繁, 贾伟, 董海亮, 李天保, 贾志刚, 许并社. InGaN/GaN微米阵列结构的生长及发光性能研究[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(4): 776-782.
[6]	钟良伟;郭纪林;曾志鹏;曾效舒. 艾奇逊炉提纯碳纳米管的组织结构性能表征[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(7): 1272-1280.
[7]	张浩然;陈帅峰;陈庆;骆丽杰;李建保;陈拥军. 熔盐辅助碳热还原氮化法制备氮化钽晶须[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(7): 1294-1299.
[8]	栗可心;郭华超;李潘;蒋志敏;颜廷亭. 明胶/双相磷酸钙多孔陶瓷支架的制备及性能研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(3): 547-554.
[9]	吕健, 王宏建, 曹佐, 袁莉娟, 李冰, 左飞, 周锐, 谢庆丰, 林华泰. ZrO₂陶瓷显微结构对绿光飞秒激光加工过程的协同效应[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(2): 305-311.
[10]	薛龙;乔显集;乔慧敏;李修芝;龙西法;何超. Pb(In1/2Nb1/2)O3-Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-PbTiO3压电陶瓷的介电、铁电和压电性能[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(10): 1854-1858.
[11]	罗杰;李俊国;李美娟;沈强;张艳苓. 压力和温度对等离子活化烧结Si3N4陶瓷致密化及相变的影响[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(8): 1505-1510.
[12]	王振涛;王刚;王微;刘大钊;王秒;桂凯旋. 粉体粒径及烧结工艺对ZrB2陶瓷致密化行为与晶粒长大的影响[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(8): 1516-1521.
[13]	张春霖;王海;高新宇;李静. Fe2O3对MgO-Al2O3-SiO2系微晶玻璃介电性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(7): 1360-1364.
[14]	陶锐;张小珍;刘华锋;江瑜华;潘桃;常启兵;汪永清;周健儿. Zn掺杂量对纳米BiVO4黄色颜料性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(6): 1144-1149.
[15]	杨涛;徐智超;骆丽杰;陈拥军. 以天然椰壳为碳源制备硼碳氮微米线[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(4): 672-676.