高效大功率LED用蓝宝石图形衬底的制备

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (8): 1498-1503.

高效大功率LED用蓝宝石图形衬底的制备

汪桂根;崔林;韩杰才;王新中;严帅;秦国双

哈尔滨工业大学深圳研究生院,深圳,518055;哈尔滨工业大学深圳研究生院,深圳518055;哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所,哈尔滨150001;深圳信息职业技术学院,深圳,518172

出版日期:2013-08-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(6124015);广东省自然科学基金(9451805707003351,S2012010010030);深圳市基础研究计划项目(JCYJ20120613134210982,JCYJ20120615101957810);哈尔滨工业大学科研创新基金(HIT.NSFIR.2011123)

Preparation of Patterned Sapphire Substrate for High-efficiency and High-power Light Emitting Diodes

WANG Gui-gen;CUI Lin;HAN Jie-cai;WANG Xin-zhong;YAN Shuai;QIN Guo-shuang

Online:2013-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 首先在蓝宝石衬底上旋涂PMMA/copolymer双层胶,然后再进行电子束光刻处理,随后溅射铝膜,并结合剥离技术,从而制备图形化金属铝膜；最后再采用两步热处理法,使图形铝膜发生固相外延反应.在此过程中,侧重于电子束光刻和高温热处理的工艺优化研究.SEM测试结果表明,图形化铝膜在450℃低温氧化热处理24h后,其图形形貌没有发生明显改变；在温度低于1200℃的高温热处理1h后,图形仍然存在.HRXRD分析表明,图形化铝膜在450℃低温热处理24h后再在1000℃高温热处理1h,可在蓝宝石衬底上形成氧化铝外延薄膜；并且相比于基片,氧化铝外延薄膜的结晶质量还有所提高.本方法成功实现了高效大功率用LED蓝宝石图形衬底的制备.

中图分类号:

TN312.8

汪桂根;崔林;韩杰才;王新中;严帅;秦国双. 高效大功率LED用蓝宝石图形衬底的制备[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(8): 1498-1503.

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