选择性刻蚀碳化硅制备金刚石的研究

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (8): 1537-1542.

选择性刻蚀碳化硅制备金刚石的研究

王正鑫;卢文壮;黄群超;王晗;胥军;左敦稳

南京航空航天大学机电学院,南京210016;江苏省精密与微细制造技术重点实验室,南京210016;南京航空航天大学机电学院,南京,210016

出版日期:2013-08-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(51075211、51275230);教育部博士点基金项目(20113218110018);江苏省高校优势学科建设工程资助项目

Preparation of Silicon Carbide Derived Diamond by Selective Etching

WANG Zheng-xin;LU Wen-zhuang;HUANG Qun-chao;WANG Han;XU Jun;ZUO Dun-wen

Online:2013-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 在高温下Cl2+ H2体系可促使SiC转化为金刚石.论文从热力学角度分析了Cl2选择性亥蚀SiC制备金刚石时,Cl2和H2对sp2、sp3杂化形式的C-C键的作用机制,从理论上推导了SiC转化为金刚石的气源中Cl2、H2比例范围.建立了SiC结构向金刚石结构转变时形成金刚石团簇的理论模型,根据该模型解释了SCDD膜的增厚机制.

中图分类号:

TQ164

王正鑫;卢文壮;黄群超;王晗;胥军;左敦稳. 选择性刻蚀碳化硅制备金刚石的研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(8): 1537-1542.

WANG Zheng-xin;LU Wen-zhuang;HUANG Qun-chao;WANG Han;XU Jun;ZUO Dun-wen. Preparation of Silicon Carbide Derived Diamond by Selective Etching[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2013, 42(8): 1537-1542.

[1]	赵鹏, 宋建军, 张微, 承刚, 张立生, 付春雷, 石刚, 黄存新. 泡生法制备低吸收蓝宝石晶体及其性能研究[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(12): 2203-2209.
[2]	潘越, 刘书成, 张笑鸣, 张帮萱, 姚迪, 胡阔, 臧传义, 周强, 刘兆东, 刘冰冰. 天然和培育金刚石品质表征与呈色分析[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(11): 1939-1945.
[3]	方莉俐, 李靖华, 刘韩. 金刚石微粉低温化学镀镍品质影响因素[J]. 人工晶体学报, 2022, 51(8): 1459-1465.
[4]	欧阳柳章, 何飞, 邢莹莹. 人工合成翡翠研究进展[J]. 人工晶体学报, 2022, 51(3): 559-570.
[5]	康森, 鲁雅荣, 石天虎, 滕斌, 宽军, 李璐, 郝文娟, 段斌斌. 改良泡生法生长720 kg级大尺寸蓝宝石晶体[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(8): 1397-1401.
[6]	李建军, 范澄兴, 程佑法, 刘雪松, 王岳, 山广祺, 李婷, 李桂华, 丁秀云, 赵潇雪, 黄准, 燕菲, 杜冉. 金刚石UV-Vis-MIR光谱常见特征综述[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(1): 158-166.
[7]	黄海芳;黄凯;谷继腾;方克明. 人造金刚石的微观结构模型[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(7): 1180-1186.
[8]	姚凯丽;代兵;谭小俊;杨磊;刘康;舒国阳;韩杰才;朱嘉琦. 氧等离子体对以石墨为碳源合成的CVD金刚石颗粒的影响[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(9): 1621-1625.
[9]	郑友进;王俊楠;周振翔;左桂鸿;王丽娟;王方标;黄海亮;贾洪声. 高热导率Si3N4陶瓷的高压合成及性能研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(6): 1111-1115.
[10]	简小刚;王俊鹏;何嘉诚. 不同反应气氛下氢终止金刚石表面的活化性能[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(3): 436-442.
[11]	于昆鹏;李尚升;明黄亮;王健康;韩飞;高广进;郭明明;王君卓;宿太超;胡美华;胡强;吴玉敏. 金刚石合成用触媒的应用及展望[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(8): 1714-1721.
[12]	邓福铭;朱灏;王双;郝岑;雷青. 不同结构金刚石涂层刀具的制备及性能参数优化[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(7): 1353-1358.
[13]	简小刚;甘熠华. 碳氢基团在孕镶金刚石表面吸附作用的机理研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(4): 680-686.
[14]	许晨阳;解亚娟;邓福铭;陈立;雷青. 合成CVD金刚石涂层用硬质合金基体预处理工艺优化研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(4): 682-687.
[15]	邓福铭;陈立;邓雯丽;赵烨;雷青. 微/纳米金刚石复合涂层刀具的制备及切削试验[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(10): 2728-2733.