晶硅切割废粉为原料的反应烧结Si3N4结合SiC复相陶瓷的工艺研究

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (8): 1668-1672.

晶硅切割废粉为原料的反应烧结Si3N4结合SiC复相陶瓷的工艺研究

罗绍华;张溪溪;侯瑞;陈宇红;耿桂宏

东北大学秦皇岛分校资源与材料学院,秦皇岛,066004;北方民族大学材料科学与工程学院,银川,750021

出版日期:2013-08-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
省部共建“粉体材料与特种陶瓷”重点实验室开放课题(1102);宁夏自然科学基金(NZ0843);国家自然科学基金(50902019);中央高校基本业务费(N100423002,N100123003)

Process Research on Reaction Sintered Silicon Nitride Bonding Silicon Carbide Multiphase Ceramics Using Crystalline Silicon Cutting Waste Silicon Powder as Raw Material

LUO Shao-hua;ZHANG Xi-xi;HOU Rui;CHEN Yu-hong;GENG Gui-hong

Online:2013-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 以晶硅切割废料Si粉和SiC为原料,Y2O3-Al2O3-Fe2O3为复合烧结助剂,反应烧结法制备低压铸造升液管用Si3N4/SiC复相陶瓷材料.设计L9(34)正交实验,研究了原料中Si、助剂Al2O3、Y2O3和Fe2O3的含量对陶瓷材料力学性能的影响和优化.采用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对复合材料的相组成、断口形貌进行分析.结果表明,反应烧结后试样生成Si3N4结合SiC晶粒为主相的烧结体,并含有少量SiALON及未反应的Si.Si含量对力学性能的影响最为显著,通过对正交试验的验证,20wt; Si、3.2wt; Al2O3、0.8wt;Fe2O3和2wt; Y2O3时烧结体抗弯强度最高.

中图分类号:

TQ174

罗绍华;张溪溪;侯瑞;陈宇红;耿桂宏. 晶硅切割废粉为原料的反应烧结Si3N4结合SiC复相陶瓷的工艺研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(8): 1668-1672.

LUO Shao-hua;ZHANG Xi-xi;HOU Rui;CHEN Yu-hong;GENG Gui-hong. Process Research on Reaction Sintered Silicon Nitride Bonding Silicon Carbide Multiphase Ceramics Using Crystalline Silicon Cutting Waste Silicon Powder as Raw Material[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2013, 42(8): 1668-1672.

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