氧氩比及基底温度对脉冲磁控溅射Cu2O薄膜结构和光学性能的影响

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (9): 1802-1807.

氧氩比及基底温度对脉冲磁控溅射Cu2O薄膜结构和光学性能的影响

自兴发;杨雯;杨培志;段良飞;张力元

云南师范大学,可再生能源材料先进技术及制备教育部重点实验室,太阳能研究所,昆明650092;楚雄师范学院物理与电子科学系,楚雄675000;云南师范大学,可再生能源材料先进技术及制备教育部重点实验室,太阳能研究所,昆明650092

出版日期:2013-09-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金联合资助基金项目(U1037604)

Effects of O2/Ar Ratio and Substrate Temperature on the Structure and Optical Properties of Cu2O Thin Films Deposited by Pulse Magnetron Sputtering

ZI Xing-fa;YANG Wen;YANG Pei-zhi;DUAN Liang-fei;ZHANG Li-yuan

Online:2013-09-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 利用脉冲磁控溅射制备技术,采用单质金属铜靶作为溅射靶,在氧气(O2)和氩气(Ar)的混合气氛下在石英玻璃基底上制备Cu2O薄膜,研究了O2和Ar流量比(O2/Ar)及基底湿度对沉积的Cu2O薄膜结构、表面形貌及光学性能的影响.结果表明:在O2/Ar为30∶80的气氛条件下,基底温度在室温(RT)和100℃时均可获得单相的Cu2O＜ 111＞薄膜;薄膜表面致密、颗粒呈球状,粗糙度的均方根(RMS)值随基底温度增加而增大;薄膜的光谱吸收范围为300～ 650 nm,紫外区吸收较强,可见光区吸收强度较弱,吸收强度随基底温度的增加而增强,光学带隙(Eg)随基底温度的增加而减小.

中图分类号:

TB34

自兴发;杨雯;杨培志;段良飞;张力元. 氧氩比及基底温度对脉冲磁控溅射Cu2O薄膜结构和光学性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(9): 1802-1807.

ZI Xing-fa;YANG Wen;YANG Pei-zhi;DUAN Liang-fei;ZHANG Li-yuan. Effects of O2/Ar Ratio and Substrate Temperature on the Structure and Optical Properties of Cu2O Thin Films Deposited by Pulse Magnetron Sputtering[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2013, 42(9): 1802-1807.

[1]	丁家福, 和志豪, 王云杰, 苏欣. 通过硫代调控Ga、In、Tl磷酸盐光学性质的第一性原理研究[J]. 人工晶体学报, 2025, 54(1): 95-106.
[2]	赵文海, 陶世旭, 童思意, 唐健, 左传东, 曹永革, 麻朝阳. Lu₂O₃基激光透明陶瓷的研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(12): 2043-2058.
[3]	牛丽丽, 王培, 刘彦彬, 赵惠娟. 超级电容器用生物质衍生碳材料研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(8): 1302-1312.
[4]	孙元龙, 胡子钰, 郑国宗. 大尺寸CH₃NH₃PbBr₃晶体生长和光电性能表征[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(8): 1313-1318.
[5]	刘晓莹, 黄海深, 孙丽, 潘孟美, 尚真真. 二维MXene材料CrVCF₂的电子性质和磁性的第一性原理研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(8): 1386-1393.
[6]	丁涛, 李晴雯, 徐玉琦, 钟敏. 硫属钙钛矿BaZrS₃及其制备的研究进展和展望[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(6): 922-929.
[7]	李玉琦, 徐英, 梁士明. 氧化铟基气敏材料的研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(6): 930-946.
[8]	张博, 王云杰, 齐亚杰, 丁家福, 和志豪, 苏欣. 碱金属钼酸盐结构与性能关系的第一性原理研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(6): 999-1007.
[9]	王蕾蕾, 尹振华, 张蕴可, 刘磊, 陈名. 适用于太阳能电池的新型无铅四元硫碘化物优异光电性能的第一性原理研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(5): 803-809.
[10]	张家豪, 王德修, 李玉琦, 徐英, 梁士明, 宋学省. 二硫化钼纳米材料的制备方法及应用研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(4): 600-619.
[11]	王晨星, 刘禹松, 胡泳池, 胡家俊, 赵钰淳, 宋旭辉, 宋衍滟. 碳化温度对CF/Pd催化剂电催化氧化甲醇性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(4): 721-729.
[12]	谢汉荣, 杨铁锋, 韦玉明, 关贺元, 卢惠辉. 薄膜铌酸锂光电探测器近期研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(3): 410-425.
[13]	张飞鹏, 路清梅, 刘卫强, 张东涛, 岳明. MnGa二元合金等静压电子结构与磁性质的研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(3): 541-550.
[14]	李宏, 廖鑫, 侯静, 徐众. 钙钛矿太阳能电池界面缺陷及其抑制方法[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(1): 38-50.
[15]	王赵鹏, 曾金, 高艳, 王春英. 稀土上转换光催化剂的研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(1): 51-57.