化学气相法生长ZnO单晶的热动特性研究

人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (1): 64-67.

化学气相法生长ZnO单晶的热动特性研究

彭柱;曾体贤;陈太红;彭丽萍;王新明;王雪敏;吴卫东

西华师范大学物理与电子信息学院,南充637009;中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900;西华师范大学物理与电子信息学院,南充,637009;中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳,621900

出版日期:2014-01-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
中国博士后科学基金(2013M542294);四川省教育厅重点项目(01ZB089);西华师范大学基本科研基金资助项目(13C008)

Investigation on Thermokinetics Property of ZnO Single Crystal Grown by CVT Method

PENG Zhu;ZENG Ti-xian;CHEN Tai-hong;PENG Li-ping;WANG Xin-ming;WANG Xue-min;WU Wei-dong

Online:2014-01-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 研究了ZnO-C体系化学气相法生长ZnO单晶的Zn、CO、O2、CO2、ZnO气体热力学平衡过程,计算发现主要气相物种为Zn,CO.分析了Zn和CO在N2,Ar,He气体中的扩散系数,发现Ar气既可抑制Zn物质流传输,又可减缓Zn扩散系数随温度升高而递减的趋势,是较适宜的外加气体.建立了ZnO单晶气相生长一维传输模型,揭示了Zn的动力学输运过程,获取了三个温度梯度下(氩气背景压力分别为0 atm、0.5 atm、1 atm)Zn的物质流密度,以及温度梯度、背景压力对最大生长速率的影响.

中图分类号:

O736

彭柱;曾体贤;陈太红;彭丽萍;王新明;王雪敏;吴卫东. 化学气相法生长ZnO单晶的热动特性研究[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(1): 64-67.

PENG Zhu;ZENG Ti-xian;CHEN Tai-hong;PENG Li-ping;WANG Xin-ming;WANG Xue-min;WU Wei-dong. Investigation on Thermokinetics Property of ZnO Single Crystal Grown by CVT Method[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2014, 43(1): 64-67.

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