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人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (10): 2515-2521.

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电弧分区特征对金刚石形核的影响

左振博;郭建超;刘金龙;陈良贤;朱瑞华;闫雄伯;魏俊俊;黑立富;李成明   

  1. 北京科技大学新材料技术研究院,北京,100083
  • 出版日期:2014-10-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(51272042);教育部博士点基金(2011000110011)

Effect of Area Arc Distribution on Diamond Nucleation

  • Online:2014-10-15 Published:2021-01-20

摘要: 在直流电弧等离子体喷射CVD法制备金刚石膜中,电弧可分为弧心、弧干、弧边三个区域.本文主要阐述了电弧的分区特征,讨论电弧区域特征对金刚石形核的影响.同时,以电弧分区特征为基础,探讨了预处理方式和温度对金刚石形核的关联影响.结果表明:形核初期对应于TiC粉的Raman谱,衬底的钛过渡层表面形成了TiC的过渡层,弧心区域金刚石形核迅速,形核密度较高,而在弧边区域金刚石形核缓慢,形核密度相对较低.

关键词: 电弧分区;形核;金刚石

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