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人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (10): 2586-2591.

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石英钟罩对MPCVD金刚石膜沉积的影响

李莉莉;丁明清;潘攀;胡健楠;冯进军   

  1. 北京真空电子技术研究所,微波电真空器件国家重点实验室,北京100015
  • 出版日期:2014-10-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家重点基础研究发展计划(973)(2013CB933602)

Effects of Quartz Bell Jar on Diamond Film Deposited by MPCVD

LI Li-li;DING Ming-qing;PAN Pan;HU Jian-nan;FENG Jin-jun   

  • Online:2014-10-15 Published:2021-01-20

摘要: 为了提高高品质金刚石膜的沉积速率,利用CST三维电磁场仿真软件,模拟了Diamo Tek700微波等离子体化学气相沉积设备中,在忽略等离子体存在的前提条件下,石英钟罩的厚度和形状对沉积金刚石膜的基片表面电场分布的影响.同时采用壁厚3 mm,3.5 mm和4mm的平顶和壁厚4 mm的圆顶钟罩分别进行了金刚石膜的沉积实验.模拟结果显示,对于同一类型的石英钟罩,壁厚的变化(3 ~4 mm)对基片表面平均电场影响不大;而壁厚相同的圆顶钟罩情况下基片表面平均电场则比平顶的高出10;.壁厚4 mm的圆顶石英钟罩得到了相对较高且均匀的电场分布.结果表明,沉积速率与模拟的基片表面电场强度存在对应关系;采用壁厚4 mm圆顶钟罩与原厂设计的壁厚3 mm平顶钟罩相比,在相同的工艺条件下,沉积速率提高一倍,达到1.4 μm/h.

关键词: 微波等离子体化学气相沉积;金刚石;钟罩;沉积速率

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