PECVD沉积硅薄膜退火性质的分析

人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (12): 3145-3150.

PECVD沉积硅薄膜退火性质的分析

张林睿;周炳卿;高玉伟;张龙龙;张娜;路小翠

内蒙古师范大学物理与电子信息学院,功能材料物理与化学自治区重点实验室,呼和浩特010022

出版日期:2014-12-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(51262022);内蒙古师范大学“十百千”人才工程资助项目(RCPY-2-2012-K-041)

Properties Analysis of Silicon Film Deposited by PECVD after Annealing

ZHANG Lin-rui;ZHOU Bing-qing;GAO Yu-wei;ZHANG Long-long;ZHANG Na;LU Xiao-cui

Online:2014-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)制备硅薄膜,对硅薄膜进行退火处理.通过X射线衍射谱,拉曼光谱以及傅里叶变换红外吸收光谱,研究了退火温度在550～ 700℃范围内,硅薄膜退火过程中的生长特性.实验表明:多晶硅的晶粒尺寸并不随着退火温度的提高而持续增大,当退火温度在550～650℃范围内,硅薄膜始终表现出(111)方向的择优生长取向.当退火温度高于650℃时,氧原子活性增强,硅-氧键增加.对于存在应变、已结晶的薄膜,由于内部应力的累积,薄膜更容易随着退火温度的升高而脱落.

中图分类号:

TM914

张林睿;周炳卿;高玉伟;张龙龙;张娜;路小翠. PECVD沉积硅薄膜退火性质的分析[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(12): 3145-3150.

ZHANG Lin-rui;ZHOU Bing-qing;GAO Yu-wei;ZHANG Long-long;ZHANG Na;LU Xiao-cui. Properties Analysis of Silicon Film Deposited by PECVD after Annealing[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2014, 43(12): 3145-3150.

[1]	夏冬林, 郭锦华. CuInS₂量子点敏化ZnO基光阳极的制备与性能研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(12): 2274-2281.
[2]	罗伟, 杜锐. ZnO(n)/ZnSe(i)/c-Si(p)异质结太阳电池的模拟研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(12): 2282-2286.
[3]	陈云, 蔡厚道. 单层n型MoS₂/p型c-Si异质结太阳电池数值模拟[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(12): 2287-2291.
[4]	张汉宏, 叶帅, 张帆. 钙钛矿单晶的合成研究进展[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(12): 2389-2397.
[5]	李祥;王书荣;廖华;杨帅;李新毓;王亭保;李晶金;李秋莲;刘信. 溅射硒化物靶与金属单质靶制备Cu2 ZnSnSe4薄膜及电池的比较研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(10): 1807-1813.
[6]	葛笑寒;张磊. 质子辐照下高效太阳电池输出特性及结构的优化研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(10): 1883-1888.
[7]	侯世欣;崔兴华;王鹏阳;黄茜;丁毅;李跃龙;张德坤;赵颖;张晓丹. 基于硫氰酸亚铜的n-i-p型钙钛矿太阳电池界面能级匹配及稳定性的初步研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(9): 1590-1598.
[8]	张天杰;刘大伟;倪玉凤;杨露;魏凯峰;宋志成;林涛. 基于载流子选择性接触的N型晶硅电池钝化特性研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(9): 1631-1635.
[9]	张婷;刘大伟;宋志成;倪玉凤;杨露;刘军保. 多晶硅绕镀层的去除工艺研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(9): 1641-1645.
[10]	何光强;魏欣;张敏;安辛友;龚利平;曾体贤. 背电极面积优化对非晶硅太阳能电池的影响[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(7): 1187-1194.
[11]	田瀛;吴燕;徐玉增;候敏娜;丁毅;侯国付;赵颖;张晓丹. 疏水载流子传输层上制备高效钙钛矿太阳电池的锚固策略[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(5): 838-847.
[12]	陈睿;田楠;郑国源;王吉林;龙飞. 太阳能电池中石墨烯的应用进展[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(4): 729-737.
[13]	刘广辉;郝凌云;王威;孙悦;柏航. CuSbS2薄膜制备方法及其太阳能电池的研究进展[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(4): 738-743.
[14]	马新尖. 三层SiNx-SiNx-SiO2减反射膜对多晶硅太阳电池性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(3): 521-525.
[15]	王传坤;聂奎营;张星;马恒. 石墨烯及其衍生物在钙钛矿太阳能电池中的应用进展[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(1): 162-168.