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人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (12): 3318-3322.
刘剑
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RSS出版日期:2014-12-15
发布日期:2021-01-20
基金资助:LIU Jian
Online:2014-12-15
Published:2021-01-20
摘要： 采用Piranha化学法与化学浴沉积技术相结合,在玻璃基板上成功制备了Sb2S3薄膜.研究了Piranha溶液不同处理时间对基板表面润湿性的影响,同时研究了Sb2S3薄膜相组成及形貌.结果表明,Piranha溶液能够有效地改善玻璃基板表面的润湿性,当处理时间为25 min时,基板表面润湿角达到最低值12.83°.Piranha溶液处理后的基板对于Sb2S3薄膜的沉积具有积极的诱导作用.沉积得到薄膜经200℃煅烧1h,由非晶态转变为正交相,薄膜在基板表面以单层球形颗粒平铺堆积生长.
中图分类号:
刘剑. Piranha化学法与化学浴沉积制备Sb2S3薄膜[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(12): 3318-3322.
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