热屏结构对大直径单晶硅生长影响的数值分析

人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (3): 508-512.

热屏结构对大直径单晶硅生长影响的数值分析

滕冉;常青;吴志强;汪丽都;戴小林;肖清华;姜舰;张果虎;周旗钢

北京有色金属研究总院,北京100088;有研半导体材料股份有限公司,北京100088;有研半导体材料股份有限公司,北京,100088

出版日期:2014-03-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家科技重大专项项目(2009ZX02011)

Numerical Analysis of the Effect of Heat Shield Structure on Growth of Large Diameter Monocrystalline Silicon

Online:2014-03-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用有限元法计算了300 mm硅单晶生长过程中,热屏结构对炉体内温度分布、熔体中流场以及晶体内热应力的影响.计算所用的模型涵盖了晶体生长过程中的主要物理现象,包括结晶潜热的释放、结晶前沿的形变、熔体中热和质的传输以及氧的输运等.计算结果表明使用直壁式热屏时,晶体-熔体界面变得更加平坦同时结晶前沿处的热应力大幅度下降,减少了发生宏观位错的可能性,此外熔体中的氧含量显著降低.

中图分类号:

滕冉;常青;吴志强;汪丽都;戴小林;肖清华;姜舰;张果虎;周旗钢. 热屏结构对大直径单晶硅生长影响的数值分析[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(3): 508-512.

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[1]	林海鑫, 高德东, 王珊, 张振忠, 安燕, 张文永. 大尺寸直拉硅单晶生长的多物理场建模与优化[J]. 人工晶体学报, 2025, 54(1): 17-33.
[2]	唐嘉, 孙志成, 张祖邦, 罗辉. 大尺寸CsPbBr₃晶体的熔体法生长研究进展[J]. 人工晶体学报, 2025, 54(1): 1-10.
[3]	许万里, 甘云海, 李悦文, 李彬, 郑有炓, 张荣, 修向前. 高均匀性6英寸GaN厚膜的高速率HVPE生长研究[J]. 人工晶体学报, 2025, 54(1): 11-16.
[4]	赵青松, 牛晓东, 顾小英, 狄聚青. 大尺寸超高纯锗单晶的生长和性能研究[J]. 人工晶体学报, 2025, 54(1): 34-39.
[5]	王坤元, 梁小燕, 闵嘉华, 张继军. 原位热处理对碲锌镉晶体质量和性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(12): 2079-2084.
[6]	刘帅伟, 关春龙, 鲁云祥, 易剑, 江南, 西村一仁. 金刚石在富氧环境下的高效抛光及其材料去除机制研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(12): 2094-2103.
[7]	肖海, 曾向东, 曾英, 熊国元, 赵淑芳, 张学宁. 氯化铷结晶介稳区宽度与生长动力学研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(12): 2141-2149.
[8]	郭俊, 刘坚, 王泽彬, 陈鹏, 宋青松, 马杰, 王庆国, 徐晓东, 徐军. Nd∶ASL单晶光纤的生长、光谱和激光性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1877-1883.
[9]	李泓沅, 孙敦陆, 张会丽, 罗建乔, 权聪, 程毛杰. 含镓石榴石系列大晶格常数磁光衬底单晶研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1657-1668.
[10]	周霖涛, 赵涛, 孙志刚, 姜林文, 潘尚可, 潘建国, 郑燕青. 坩埚下降法生长2英寸镱掺杂钙铌镓石榴石单晶[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1669-1674.
[11]	安康, 许光宇, 吴海平, 张亚琛, 张永康, 李利军, 李鸿, 张旭芳, 刘峰斌, 李成明. 金刚石化学机械抛光研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1675-1687.
[12]	丁雨憧, 张灵, 李海林, 张月, 唐杨, 强铭, 林辉. 水平定向结晶法生长浓度渐变Yb∶YAG激光晶体及光谱性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1688-1698.
[13]	王文凯, 潘秀红, 胡雨青, 刘学超, 陈小红, 陈锟, 方婧红, 贺欢, 倪津崎. GaFeO₃∶Mg晶体的生长及磁学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1699-1704.
[14]	郑权, 刘学超, 王浩, 朱新峰, 潘秀红, 陈锟, 邓伟杰, 汤美波, 徐浩, 吴鸿辉, 金敏. 铝掺杂对硒化铟晶体结构与性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(9): 1528-1535.
[15]	覃佐燕, 金雷, 李文良, 谭俊, 何广泽, 武红磊. PVT法AlN晶体生长模式调控研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(9): 1542-1549.

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