宽通带宽截止带通滤光片研究
朱华新;王彤彤;高劲松;刘桂林;李帅
2014, 43(5):
1296-1301.
摘要
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计量指标
本文以K9为基底设计了一种宽通带宽截止带通滤光片,即:540~750 nm为通带区域,400 ~ 520 nm、770~1100 nm为截止带区域,为实现这一特性,在K9基底的两侧分别设置长波通和短波通组合膜系,分别用于截止400~520 nm和770~1100 nm,而两者通带交集为540 ~ 750 nm,膜层总数为48层,膜层总厚度达5.03 μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料.利用分光光度计对镀有该组合膜的样品透过率进行测量,测试结果表明540~750 nm通带平均透过率达到了85.82;,通带相对半宽度达221 nm,400 ~ 520 nm和770 ~ 1100 nm的截止度分别达到1.36;和1.27;,实验结果与理论设计基本吻合,达到了宽通带宽截止的目标,环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度.该组合膜系可以应用于可靠性要求较高的环境中.