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人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (3): 610-615.

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化学浴沉积法制备ZnS薄膜的结构及可见-近红外光谱特性研究

刘颖;缪彦美;郝瑞亭;郭杰;杨海刚   

  1. 云南师范大学太阳能研究所,可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验室,昆明650500;河南师范大学物理与电子工程学院,新乡453007;华北电力大学可再生能源学院,北京102206
  • 出版日期:2015-03-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(61176127,61006085,11474248);国家国际科技合作重点项目(2011DFA62380);教育部博士点基金(20105303120002)

Structures and Visible-near Infrared Spectral Properties of ZnS Thin Films Prepared by Chemical Bath Deposition

LIU Ying;MIAO Yan-mei;HAO Rui-ting;GUO Jie;YANG Hai-gang   

  • Online:2015-03-15 Published:2021-01-20

摘要: 采用化学水浴法,以ZnSO4、柠檬酸钠、NH3·H2O、SC(NH2)2为反应物,在玻璃衬底上制备了ZnS薄膜,采用XRD、SEM、分光光度计、台阶仪等手段研究了水浴温度、沉积时间、pH值等条件对ZnS薄膜的晶体结构、表面形貌、光学性能的影响.结果表明,ZnS薄膜经退火后出现明显特征衍射峰,为闪锌矿结构,可见光范围内平均透过率均大于80;.经过工艺优化,在水浴温度为80℃、沉积时间为1h、pH=10条件下沉积的ZnS薄膜表面均匀致密,可见光范围内平均透过率为89.6;,光学带隙为3.82 eV,适合做铜铟镓硒和铜锌锡硫薄膜太阳电池的缓冲层.

关键词: ZnS薄膜;缓冲层;化学浴沉积;透过率

中图分类号: