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人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (3): 852-856.

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表面改性后的SiO2薄膜光学性能研究

雅菁;杨宁宁;胡凤娇   

  1. 天津城建大学材料科学与工程学院,天津,300384
  • 出版日期:2015-03-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    天津市薄膜光学重点实验室开放基金(JHWX130492)

Study on the Optical Properties of SiO2 Thin Films after Surface Modification

YA Jing;YANG Ning-ning;HU Feng-jiao   

  • Online:2015-03-15 Published:2021-01-20

摘要: 用溶胶-凝胶法在酸碱复合催化条件下制备了SiO2溶胶,采用浸渍提拉法在K9玻璃上制备了性能稳定的SiO2薄膜,并用三甲基氯硅烷对SiO2薄膜进行了表面改性.用反射式椭圆偏振光谱仪测试薄膜的椭偏参数,并用Cauchy模型对椭偏参数进行数据拟合,获得了SiO2改性前后在300~ 700 nm波段的色散关系.讨论了薄膜改性与光学性能间的关系.结果表明:Cauchy模型能较好的描述溶胶-凝胶薄膜在300~650 nm波段的光学性能;表面改性后SiO2薄膜光学常数发生改变,但未影响色散关系的变化趋势;薄膜改性后具有随着膜层数的增加,折射率增加,而最大峰值透光率、孔隙率减小的规律,且薄膜改性后表面更加致密.

关键词: 溶胶-凝胶法;SiO2薄膜;椭圆偏振光谱仪;光学常数;微结构;表面改性

中图分类号: