湿法刻蚀机腔室关键结构及主要工艺参数对刻蚀性能的影响因素研究

人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (4): 1056-1062.

湿法刻蚀机腔室关键结构及主要工艺参数对刻蚀性能的影响因素研究

杨为;向东;杜飞;王伟;田浩

重庆大学机械传动国家重点实验室,重庆400044;重庆大学汽车工程学院,重庆400044;清华大学机械工程系,北京,100081;重庆宗申动力摩发技术部,重庆,401320;西南油气田川中油气矿,四川,637000

出版日期:2015-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家科技重大专项(2011Z02403-004)

Influence of the Key Structures and the Main Process Parameters on the Etching Property of Chamber of Wet Etching Machine

YANG Wei;XIANG Dong;DU Fei;WANG Wei;TIAN Hao

Online:2015-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 以某18英寸湿法刻蚀机腔室为研究对象,建立了流-热耦合的数值分析模型,研究了刻蚀过程中工艺气体在圆筒式腔室内流速、压强、温度的分布规律,结合HF酸在乙醇环境下刻蚀SiO2的工艺原理,提出了由耗散系数、物质转换系数、物质量通量、品格结构等表征的刻蚀速率及刻蚀不均匀性评价方法,得到了腔室关键结构及主要工艺的参数对刻蚀性能的影响规律.

中图分类号:

TN305

杨为;向东;杜飞;王伟;田浩. 湿法刻蚀机腔室关键结构及主要工艺参数对刻蚀性能的影响因素研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(4): 1056-1062.

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