0-3法制备PZT厚膜及其性能研究

人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (6): 1551-1556.

0-3法制备PZT厚膜及其性能研究

任伟;赵修臣;李俊红;汪承灏

中国科学院声学研究所,声场声信息国家重点实验室,北京100190;北京理工大学材料学院,北京,100081

出版日期:2015-06-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(11074274,11174319)

Preparation and Properties of PZT Thick Film by 0-3 Method

REN Wei;ZHAO Xiu-chen;LI Jun-hong;WANG Cheng-hao

Online:2015-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用0-3复合法制备PZT(PbZr0.52Ti0.48O3)厚膜,通过陈化、静置、去除沉淀颗粒、浓缩等方法改良了浆料配制工艺,大大改善了厚膜的表面粗糙度,制备出适于微压电换能器使用的PZT厚膜.采用单层退火的方式对厚膜进行了结晶热处理,研究了不同结晶温度对厚膜性能的影响.结果表明:改良的浆料配制工艺,明显降低了厚膜的表面粗糙度,大大改善了表面形貌;随着热处理温度的升高,厚膜的晶粒尺寸变大,剩余极化变大,矫顽场变小,粗糙度有增大的趋势;当结晶温度为700℃时,剩余极化达到15μC/cm2,矫顽场为30.5 kV/cm.

中图分类号:

TB34

任伟;赵修臣;李俊红;汪承灏. 0-3法制备PZT厚膜及其性能研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(6): 1551-1556.

REN Wei;ZHAO Xiu-chen;LI Jun-hong;WANG Cheng-hao. Preparation and Properties of PZT Thick Film by 0-3 Method[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2015, 44(6): 1551-1556.

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