溶胶-凝胶法制备Bi4Si3O12薄膜的工艺参数影响研究

人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (6): 1575-1581.

溶胶-凝胶法制备Bi4Si3O12薄膜的工艺参数影响研究

郭正青;谢建军;朱晓邢;施鹰;雷芳

上海大学材料科学与工程学院,上海,200444

出版日期:2015-06-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
上海市科研计划能力建设项目(14520500300);国家自然科学基金面上项目(51172139)

Effect of Process Parameters on Bi4Si3O12 Thin Films Prepared by Sol-Gel Method

GUO Zheng-qing;XIE Jian-jun;ZHU Xiao-xing;SHI Ying;LEI Fang

Online:2015-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用溶胶-凝胶法结合旋涂工艺,在石英玻璃衬底上制备了Bi4Si3O12 (BSO)多晶薄膜.通过X射线衍射(XRD)、傅里叶变换红外光谱(FT-IR)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、荧光光谱仪和紫外-可见(UV-Vis)分光光度计表征了薄膜的物相结构、微观形貌及其光学性质,系统研究了制备过程中的溶胶组成和热处理工艺参数对薄膜性能的影响.结果表明,前驱体溶胶经750℃热处理6h可得到单相的BSO薄膜;预热处理可显著改善薄膜的形貌,降低冷却速率可明显减少薄膜裂纹,增强薄膜发光强度;在溶胶中加入乙二醇乙醚可显著提高薄膜的表面平整度;薄膜的透过率随着裂纹数量的减少明显提高.

中图分类号:

O484

郭正青;谢建军;朱晓邢;施鹰;雷芳. 溶胶-凝胶法制备Bi4Si3O12薄膜的工艺参数影响研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(6): 1575-1581.

GUO Zheng-qing;XIE Jian-jun;ZHU Xiao-xing;SHI Ying;LEI Fang. Effect of Process Parameters on Bi4Si3O12 Thin Films Prepared by Sol-Gel Method[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2015, 44(6): 1575-1581.

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