铝诱导表面织构玻璃及其对硅薄膜陷光作用的影响

人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (8): 2028-2033.

铝诱导表面织构玻璃及其对硅薄膜陷光作用的影响

刘勇;曹勇;董刚强;郭宇坤;刘丰珍

中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京,101408

出版日期:2015-08-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家重点基础研究发展计划(973)(2011CBA00705);北京市科技计划项目(D121100001812003)

Research on Aluminum Induced Texture Glass and Light Trapping Effects of Silicon Thin Films

LIU Yong;CAO Yong;DONG Gang-qiang;GUO Yu-kun;LIU Feng-zhen

Online:2015-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用铝诱导表面织构方法在玻璃衬底上制备了蜂窝状的凹坑结构;使用热丝化学气相沉积技术在该类衬底上制备了硅薄膜.扫描探针显微镜(SPM)图像表明,通过改变刻蚀时间、刻蚀溶液比例、Al膜厚度和退火时间等制备条件,可以有效控制玻璃表面凹坑结构的尺寸,使其在直径上从0.5μm到6μm,深度上从60 nm到700 nm可调.光吸收谱测试表明此类衬底对硅薄膜的光吸收有着明显的增强效果,以凹坑平均直径为2.3 μm,深度为358nm的铝诱导表面织构玻璃为衬底所制备的厚度为150 nm的硅薄膜,在350～1200 nm波长范围内的光吸收与使用平面玻璃为衬底的样品相比可提高28.5;.凹坑的尺寸大小对光吸收增强效果有重要影响.

中图分类号:

O484

刘勇;曹勇;董刚强;郭宇坤;刘丰珍. 铝诱导表面织构玻璃及其对硅薄膜陷光作用的影响[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(8): 2028-2033.

LIU Yong;CAO Yong;DONG Gang-qiang;GUO Yu-kun;LIU Feng-zhen. Research on Aluminum Induced Texture Glass and Light Trapping Effects of Silicon Thin Films[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2015, 44(8): 2028-2033.

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