焰熔法生长金红石单晶体生长室内温度分布的数值模拟

人工晶体学报 ›› 2016, Vol. 45 ›› Issue (1): 138-145.

焰熔法生长金红石单晶体生长室内温度分布的数值模拟

刘旭东;毕孝国;唐坚;蔡云平;孙旭东

沈阳工程学院能源与动力学院,沈阳,110136;东北大学材料与冶金学院,沈阳,110006

出版日期:2016-01-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(51472047)

Numerical Simulation of Temperature Distribution in Growth Chamber for Preparation of Rutile Single Crystal with Flame Fusion Method

LIU Xu-dong;BI Xiao-guo;TANG Jian;CAI Yun-ping;SUN Xu-dong

Online:2016-01-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 以氢气和氧气的燃烧为基础,研究了焰熔法生长金红石单晶体过程中生长室内的温度分布特征,分析了H2和O2流量对温度分布的影响.结果表明:中心轴向温度随喷嘴距离的增加而升高,在距喷嘴92 mm处达到最高温度3290.3 K后开始下降;晶体熔帽径向温度随直径的增加逐渐减小,熔帽边缘温度则急剧升高;随着H2流量增加,生长室内中心轴向和径向温度逐渐增大,H2流量增加2L/min,中心最高温度平均升高130℃,最高温度的位置向下移3.1mm,晶体熔帽表面温度平均升高70℃;增加内O2和外O2流量均导致生长室内中心轴向和径向温度降低,而使晶体熔帽上的压力升高,外O2对温度的影响较大,而内O2对晶体熔帽压力的影响较大.

中图分类号:

O782

刘旭东;毕孝国;唐坚;蔡云平;孙旭东. 焰熔法生长金红石单晶体生长室内温度分布的数值模拟[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(1): 138-145.

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