抛光液酸碱性对固结磨料抛光硫化锌晶体的影响

人工晶体学报 ›› 2016, Vol. 45 ›› Issue (2): 304-308.

抛光液酸碱性对固结磨料抛光硫化锌晶体的影响

黄建东;李军;宋龙龙;花成旭;胡章贵;朱永伟;左敦稳

南京航空航天大学机电学院,南京,210016;中国科学院理化技术研究所中国科学院功能晶体与激光技术重点实验室,北京,100190

出版日期:2016-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(51175260);航空基金(2015ZE52056);中国博士后科学基金(2014M551586);江苏省博士后科研资助计划(1302069B);南京航空航天大学研究生创新基地(实验室)开放基金项目(kfjj20150508)

Influence of Different Acid and Alkaline Slurry on Fixed Abrasive Polishing of Zinc Sulfide Crystal

HUANG Jian-dong;LI Jun;SONG Long-long;HUA Cheng-xu;HU Zhang-gui;ZHU Yong-wei;ZUO Dun-wen

Online:2016-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 硫化锌晶体是一种重要的红外光学材料,在红外成像、导弹制导、红外对抗等红外技术领域应用广泛.抛光液能够与工件及抛光垫发生化学反应从而影响工件表面质量和材料去除率.实验采用乙二胺、氢氧化钠、柠檬酸、盐酸分别配制不同的酸碱性抛光液,研究抛光液酸碱性对固结磨料抛光硫化锌晶体材料去除率、表面形貌和表面粗糙度的影响.实验结果表明:酸性抛光液抛光的材料去除率高于碱性抛光液;柠檬酸抛光液可同时获得优表面质量和高加工效率,抛光后的晶体表面粗糙度Sa值为4.22 nm,材料去除率为437 nm/min.

中图分类号:

O786
TH161

黄建东;李军;宋龙龙;花成旭;胡章贵;朱永伟;左敦稳. 抛光液酸碱性对固结磨料抛光硫化锌晶体的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(2): 304-308.

HUANG Jian-dong;LI Jun;SONG Long-long;HUA Cheng-xu;HU Zhang-gui;ZHU Yong-wei;ZUO Dun-wen. Influence of Different Acid and Alkaline Slurry on Fixed Abrasive Polishing of Zinc Sulfide Crystal[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2016, 45(2): 304-308.

[1]	杨明;杨辉;张志勇;田文;明仕文;张敏;曾体贤. CdSe波片6～12μm波段增透膜研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(4): 576-580.
[2]	张海亮;张明福;韩杰才;侯永昭;杨雯. 镁/钛离子注入对蓝宝石微结构和机械性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(2): 195-204.
[3]	马睿;王建彬;周超群;童勇强;徐义亮. 腐蚀法测量研磨蓝宝石亚表面损伤的实验研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(12): 2216-2221.
[4]	李清连;孙军;吴婧;张玲;许京军. 铌酸锂晶体的研磨损伤层研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(5): 883-888.
[5]	杜鹏鹏;李培;范胜杰;杜敬杰;王连军;江莞. rGO/Ag0.005 Sn0.995 Se热电复合材料的制备及性能研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(5): 939-944.
[6]	魏顺勇;张志勇;杨辉;安辛友;张敏;曾体贤. 酸性条件下的CdSe波片抛光工艺研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(6): 1280-1285.
[7]	白亚雯;陈国美;滕康;倪自丰. 阳离子表面活性剂对A向蓝宝石晶片化学机械抛光效率的影响[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(3): 470-475.
[8]	何敏;陈必清;李苗. 复合电极La-Ni-B的制备及电催化偏硼酸钠的性能[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(3): 617-622.
[9]	杨萍;张晨贵;梁莹林;刘有海;阳红;张连新;栾春红;姜晶;王超. SPDT加工对KDP晶体表面温度及应力的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(4): 896-900.
[10]	刘腾云;葛培琪;高玉飞. 制约硅晶片减薄因素研究分析[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(7): 1719-1724.
[11]	滕晓辑;高航;王旭;陈玉川. KDP晶体水溶解辅助金刚石线锯精密切割试验研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(6): 1438-1442.
[12]	王志斌;吴传超;安永泉;赵同林;解琨阳;刘顺. 晶体的定偏心平面CMP均匀性研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(3): 728-733.
[13]	吴传超;安永泉;王志斌;杨常青;张瑞. 硒化锌的化学机械抛光研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(1): 61-65.
[14]	焦扬;葛培琪;高玉飞;毕文波. KDP晶体锯切应力场与初始内应力场的耦合分析[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(8): 1504-1508.
[15]	翟永清;王莉莉;陈娟;李蕊;马玉柱. 微波辐射法快速合成CaMoO4∶Eu3+红色荧光粉及其性质研究[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(5): 1216-1220.