ITO/BZO复合薄膜制备及在非晶硅薄膜太阳能电池的应用

人工晶体学报 ›› 2016, Vol. 45 ›› Issue (2): 515-519.

ITO/BZO复合薄膜制备及在非晶硅薄膜太阳能电池的应用

黄建华;刘怀周

湖南理工职业技术学院太阳能工程系,湘潭,411104;湖南共创光伏科技有限公司,衡阳,421001

出版日期:2016-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
2014年教育厅科学研究项目(14C0534)

Fabrication of ITO/BZO Composite Thin Film and Application to Amorphous Silicon Thin Film Solar Cells

HUANG Jian-hua;LIU Huai-zhou

Online:2016-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用低压化学气相沉积(LPCVD)法在沉积ITO薄膜的玻璃衬底上制备了硼掺杂氧化锌(BZO)薄膜,研究了ITO缓冲层对ITO/BZO复合薄膜表观形貌、导电性能和光学性能的影响;并研究了ITO/BZO薄膜在非晶硅薄膜太阳能电池的应用.结果表明,以ITO作为缓冲层来沉积BZO薄膜,有利于BZO晶粒尺寸的长大,并可以显著提高BZO薄膜的导电能力.ITO/BZO复合薄膜具有相对较高的导电能力和光学透光率,应用在非晶硅薄膜太阳能电池时转化效率提高0.20;.

中图分类号:

O484.1

黄建华;刘怀周. ITO/BZO复合薄膜制备及在非晶硅薄膜太阳能电池的应用[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(2): 515-519.

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