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人工晶体学报 ›› 2016, Vol. 45 ›› Issue (5): 1266-1270.

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掺氮铌酸锂薄膜的制备及基本物性研究

崔娇;钟海涛;李文灿;孔勇发;刘士国;陈绍林;张玲;Romano Rupp;许京军   

  1. 南开大学物理科学学院,天津,300071;南开大学泰达应用物理研究院,弱光非线性光子学教育部重点实验室,天津300457;南开大学物理科学学院,天津300071;南开大学泰达应用物理研究院,弱光非线性光子学教育部重点实验室,天津300457
  • 出版日期:2016-05-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(91222111,61205176)

Study on Fabrication and Physical Properties of Nitrogen Doped Lithium Niobate Films

  • Online:2016-05-15 Published:2021-01-20

摘要: 采用激光脉冲沉积与射频等离子体相结合的方法(PLD-RF),在蓝宝石衬底上一步沉积了掺氮铌酸锂(LiNbO3:N)薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)和紫外-可见-红外光谱仪(UV-Vis-NIR)对LiNbO3:N的晶格结构、掺杂含量及价态、光学性质进行了研究.结果表明铌酸锂薄膜沿(006)方向择优生长,其中氮的原子含量为2.04;,替代氧原子的位置,N的掺入有效的窄化了LiNbO3的带隙,使其紫外-可见吸收光谱的吸收边出现红移,并且在铌酸锂禁带中引入了杂质能级(Ev),能级深度为2.7 eV.

关键词: 铌酸锂;氮掺杂;PLD-RF

中图分类号: