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人工晶体学报 ›› 2016, Vol. 45 ›› Issue (5): 1380-1385.

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N掺杂MgxZn1-xO薄膜结构和光学性质研究

贾相华;左桂鸿;郑友进;姜宏伟;张辉霞;黄海亮   

  1. 牡丹江师范学院超硬材料重点实验室,牡丹江,157012
  • 出版日期:2016-05-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    黑龙江省自然科学基金(E201341);牡丹江师范学院青年项目基金(QN201622,QN201605)

Study on Crystal Structures and Optical Properties of MgxZn1-xO∶N Thin Films

JIA Xiang-hua;ZUO Gui-hong;ZHENG You-jin;JIANG Hong-wei;ZHANG Hui-xia;HUANG Hai-liang   

  • Online:2016-05-15 Published:2021-01-20

摘要: 采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备了N掺杂MgxZn1-xO薄膜.通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射光谱、光致发光(PL)谱对N掺杂MgxZn1-xO薄膜样品的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了研究.XRD结果表明所有样品均形成了MgZnO合金薄膜,没有观察到其它氧化物的衍射峰.样品的结晶质量越差,样品的表面形貌越不规则,但样品在可见光的透射率越强,甚至达到了95;.样品的禁带宽度随Mg含量的增加而增加,随N含量的增加而减小.所有样品的光致发光谱均观察到强的400 nm发光和弱的可见发光.400 nm的发光强度随Mg含量的增加而减弱,随N含量的增加而增强,认为薄膜在400 nm的发光来源ZnO的激子复合.

关键词: N掺杂MgxZn1-xO;溶胶-凝胶;光致发光

中图分类号: