液相沉积法制备(004)取向的TiO2薄膜

人工晶体学报 ›› 2016, Vol. 45 ›› Issue (5): 1416-1420.

液相沉积法制备(004)取向的TiO2薄膜

张欣;徐海燕;陈博

安徽建筑大学安徽省先进建筑材料重点实验室,合肥,230061

出版日期:2016-05-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
高校优秀青年人才支持计划重点项目(gxyqZD2016150);安徽省教育厅自然科学研究项目(KJ2016A819)

Preparation of TiO2 Thin Film with (004) Orientation via Liquid Phase Deposition

ZHANG Xin;XU Hai-yan;CHEN Bo

Online:2016-05-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用液相沉积法(LPD)制备二氧化钛薄膜,探索pH值对二氧化钛薄膜样品成份、结构和性能的影响,利用XRD、FESEM、UV等方法对薄膜的结构、形貌以及光学特性进行表征.结果表明LPD制备的二氧化钛薄膜为锐钛矿相,可见光透过率高达80;,具有明显的(004)取向;薄膜的结构和光学特性依赖沉积液pH值,pH=2.03时所制备的薄膜取向性最佳,柱状晶粒排列整齐.

中图分类号:

O484

张欣;徐海燕;陈博. 液相沉积法制备(004)取向的TiO2薄膜[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(5): 1416-1420.

ZHANG Xin;XU Hai-yan;CHEN Bo. Preparation of TiO2 Thin Film with (004) Orientation via Liquid Phase Deposition[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2016, 45(5): 1416-1420.

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液相沉积法制备(004)取向的TiO2薄膜

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