柔性砷化镓薄膜太阳电池剥离(lift-off)技术研究

人工晶体学报 ›› 2018, Vol. 47 ›› Issue (10): 2200-2204.

柔性砷化镓薄膜太阳电池剥离(lift-off)技术研究

张帆;陈诗文;徐建文;刘广明;王志超

上海空间电源研究所,上海,200245

出版日期:2018-10-15 发布日期:2021-01-20

Study on Lift-off Technology of Flexible GaAs Thin Film Solar Cells

ZHANG Fan;CHEN Shi-wen;XU Jian-wen;LIU Guang-ming;WANG Zhi-chao

Online:2018-10-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 对柔性砷化镓薄膜太阳电池关键技术进行研究,通过对柔性衬底表面处理、外延片/柔性衬底键合、衬底剥离技术和柔性薄膜外延层器件工艺技术等进行研究,成功地将砷化镓电池外延层转移到柔性聚酰亚胺薄膜衬底上,研制出效率为30.5;(AM0,25℃)的柔性砷化镓薄膜太阳电池,其重量比功率达到2153 W/kg,为将来卫星及临近空间飞行器的应用打下技术基础.

中图分类号:

TK514

张帆;陈诗文;徐建文;刘广明;王志超. 柔性砷化镓薄膜太阳电池剥离(lift-off)技术研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(10): 2200-2204.

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