基于玻璃基底的TiO2自清洁减反射薄膜的研究

人工晶体学报 ›› 2018, Vol. 47 ›› Issue (2): 315-320.

基于玻璃基底的TiO2自清洁减反射薄膜的研究

王朝勇;董海鹏;路一帆;陈庚阳;孟家旺;王新练;姚宁;马培芳

河南城建学院数理学院,平顶山,467036;哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001;郑州大学物理工程学院,郑州,450052;平顶山市农业科学院,平顶山,467000

出版日期:2018-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(61076041);河南省科技攻关项目(172102210106,152102210038)

Study on the TiO2Self-cleaning and Anti-reflective Thin Films on the Glass Substrate

WANG Zhao-yong;DONG Hai-peng;LU Yi-fan;CHEN Geng-yang;MENG Jia-wang;WANG Xin-lian;YAO Ning;MA Pei-fang

Online:2018-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用直流磁控溅射(DMS)技术和能量过滤磁控溅射(EFMS)技术在玻璃基底上制备了TiO2薄膜.用TFC膜系设计软件优化设计了单层和双层减反射薄膜,确定制备工艺参数,根据优化结果分别制备了TiO2构成的单层和双层薄膜.利用SEM、椭偏仪、接触角测定仪和光催化测试系统对薄膜进行了表征和测试.实验结果表明:优化设计的膜层都具有良好的减反射性能,单层和双层薄膜在400~800 nm的平均透射率分别为0.845和0.891.氙灯照射30 min后接触角从61.5°变为28°和8°,后者具有超亲水性.紫外光照下对RhB的降解速率分别为-0.0019 min-1和-0.0034 min-1,具有良好的自清洁性能.单层和双层TiO2薄膜具有自清洁和减反射性能.由高低折射率匹配组成的双层薄膜有较平滑的曲线,光催化降降解性能和亲水性较好.

中图分类号:

TQ134.1
O484

王朝勇;董海鹏;路一帆;陈庚阳;孟家旺;王新练;姚宁;马培芳. 基于玻璃基底的TiO2自清洁减反射薄膜的研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(2): 315-320.

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