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人工晶体学报 ›› 2019, Vol. 48 ›› Issue (3): 545-549.

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基于数值模拟电子级多晶硅还原 炉流动结构改进研究

梁世民;张胜涛;何银凤;付昊;赵丽丽   

  1. 青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司,西宁,810000;哈尔滨工业大学化工与化学学院,哈尔滨,150000
  • 出版日期:2019-03-15 发布日期:2021-01-20

Flow Structure Improvement of Electronic Grade Polysilicon Reactor Based on Numerical Simulation

LIANG Shi-min;ZHANG Sheng-tao;HE Yin-feng;FU Hao;ZHAO Li-li   

  • Online:2019-03-15 Published:2021-01-20

摘要: 针对现役电子级多晶硅还原炉炉内气体循环不强、硅棒桥接处沉积质量较差的问题,提出了调整喷嘴直径的优化方案,并利用建模工具建立了原有设计和优化设计的物理模型,对炉体内部的混合气体流动、硅芯电阻加热、辐射传热等进行了数值模拟计算,计算结果收敛,经后处理得到不同设计下炉体内部流速、温度及硅棒表面温度分布云图.实验表明,在其他工艺条件不变的情况下,优化设计可以提供比原有设计更高的沉积速率和致密料比例.

关键词: 多晶硅;CVD反应;数值模拟;流动结构;温场优化

中图分类号: