CVD金刚石薄膜表面的缺陷研究

人工晶体学报 ›› 1998, Vol. 27 ›› Issue (2): 126-131.

CVD金刚石薄膜表面的缺陷研究

周灵平;靳九成;李绍禄;颜永红;朱正华

湖南大学材料测试研究中心,长沙,410082;湖南大学应用物理系,长沙,410082

出版日期:1998-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
湖南省计委资助项目;湖南省科技厅科研项目

Study on Defects in the Surface of CVD Diamond Films

Zhou Lingping;Jin Jiucheng;Li Shaolu;Yan Yonghong;Zhu Zhenghua

Online:1998-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 用SEM方法观察分析了CVD金刚石薄膜表面的缺陷形貌和结构,直观的两种缺陷为孪晶和孔洞.孪晶反映了晶粒的不完整性,它的产生取决于气相中活性分子的浓度与生长表面活性位数目的比值,孪晶比率随碳源浓度升高和衬底温度的降低而增大;孔洞反映了膜的不致密性,其产生与膜生长速率和衬底表面初始成核密度切相关,孔洞密度随碳源浓度升高和衬底温度的升高而增大.

中图分类号:

周灵平;靳九成;李绍禄;颜永红;朱正华. CVD金刚石薄膜表面的缺陷研究[J]. 人工晶体学报, 1998, 27(2): 126-131.

Zhou Lingping;Jin Jiucheng;Li Shaolu;Yan Yonghong;Zhu Zhenghua. Study on Defects in the Surface of CVD Diamond Films[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 1998, 27(2): 126-131.

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