摘要： 用ECR CVD(电子回旋共振化学气相沉积)方法沉积出了多晶金刚石薄膜,测量了薄膜的Raman散射谱、X射线衍射谱和SEM.生长条件是:V(CH4)/V(H2)=4;,气体总流量是150sccm,反应压力是0.1Pa,微波功率是700W,衬底偏压是-150V.发现了在金刚石薄膜沉积初期阶段的分形生长现象,用DLA模型解释了其分形生长机制,用Monte Carlo方法对其生长过程进行了计算机模拟,理论与实验结果相符.
中图分类号:
张阳;杨新武;陈光华. 金刚石薄膜的ECR CVD及分形现象研究[J]. 人工晶体学报, 1999, 28(1): 69-73.
Zhang Yang;Yang Xinwu;Chen Guanghua. Investigation on the ECR CVD of Diamond Films and Fractal Phenomenon[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 1999, 28(1): 69-73.
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