燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究

人工晶体学报 ›› 1999, Vol. 28 ›› Issue (1): 74-78.

燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究

黄树涛;张志军;姚英学;袁哲俊

沈阳工业学院机械工程系,沈阳,110015;哈尔滨工业大学机械工程系,哈尔滨,150001

出版日期:1999-01-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
中国科学院资助项目;辽宁省自然科学基金

Study on the Depositing High Quality Transparent Diamond Films by Combustion Flame Method

Huang Shutao;Zhang Zhijun;Yao Yingxue;Yuan Zhejun

Online:1999-01-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用燃焰法在大气环境下以30μm/h的较高速率沉积出了均匀、优质、透明的金刚石薄膜.实验结果表明,较高的V(O2)/V(C2H2)和适中的基体温度是获得高品质金刚石薄膜的基本条件;提高反应气体中氧气浓度,可使沉积高品质透明金刚石薄膜的基体温度范围变宽.

中图分类号:

O782.4

黄树涛;张志军;姚英学;袁哲俊. 燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究[J]. 人工晶体学报, 1999, 28(1): 74-78.

Huang Shutao;Zhang Zhijun;Yao Yingxue;Yuan Zhejun. Study on the Depositing High Quality Transparent Diamond Films by Combustion Flame Method[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 1999, 28(1): 74-78.

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Study on the Depositing High Quality Transparent Diamond Films by Combustion Flame Method

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