以乙醇为氧源生长ZnO薄膜中温度对光谱影响的研究

人工晶体学报 ›› 2004, Vol. 33 ›› Issue (2): 201-204.

以乙醇为氧源生长ZnO薄膜中温度对光谱影响的研究

李宪林;黄柏标;朱宝富;于永芹;尉吉勇;秦晓燕

山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

出版日期:2004-04-15 发布日期:2021-01-20

Study of Luminescence Dependence of ZnO Films on Growth Temperature by MOCVD Using Ethanol as MO Source

Online:2004-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文探索了以乙醇为氧源通过MOCVD方法生长ZnO薄膜的方法,着重研究了该实验中生长温度对薄膜发光光谱的影响.我们分别在350℃、370℃、380℃、400℃和420℃温度下生长了ZnO薄膜,并对其发光光谱进行了研究.结果表明适当地提高生长温度可以使近带边发光峰蓝移,但温度过高,使得峰位红移并展宽.在380℃的生长条件下得到了较好的光谱.370℃条件下还出现了474nm的发光峰,经退火后此峰消失.

中图分类号:

TN304.21

李宪林;黄柏标;朱宝富;于永芹;尉吉勇;秦晓燕. 以乙醇为氧源生长ZnO薄膜中温度对光谱影响的研究[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(2): 201-204.

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以乙醇为氧源生长ZnO薄膜中温度对光谱影响的研究

Study of Luminescence Dependence of ZnO Films on Growth Temperature by MOCVD Using Ethanol as MO Source

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