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人工晶体学报 ›› 2008, Vol. 37 ›› Issue (1): 15-19.

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提拉法生长晶体的自等径控制

于永贵;姚淑华;徐民;王旭平;张怀金;王继扬   

  1. 山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100
  • 出版日期:2008-02-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA311110;2006AA030106)

Automatic Diameter Controlling for Crystal Growth with CZ Method

YU Yong-gui;YAO Shu-hua;XU Min;WANG Xu-ping;ZHANG Huai-jin;WANG Ji-yang   

  • Online:2008-02-15 Published:2021-01-20

摘要: 采用JPG技术有限公司所开发的自等径控制程序,利用上称重法实现了晶体生长的自等径控制(ADC).通过对生长曲线PID的具体分析及其他晶体生长相关参数的设置,以铌酸锂晶体为对象,成功实现了按预设程序进行的晶体生长自等径控制.

关键词: 自等径控制;上称重法;晶体生长;PID参数

中图分类号: