溶胶-凝胶法Ba2TiSi2O8铁电薄膜的制备及结构表征

人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (2): 283-287.

溶胶-凝胶法Ba2TiSi2O8铁电薄膜的制备及结构表征

朱满康;代伍坤;侯育冬;严辉;邵明明;陈晓阳

北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室,北京,100022;北京长峰声表面波公司,北京,100854

出版日期:2005-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
北京市教委科技发展计划项目;国家自然科学基金(10104004)

Preparation and Characterization of Ba2TiSi2O8 Ferroelectric Films Produced by Sol-gel Method

ZHU Man-kang;DAI Wu-kun;HOU Yu-dong;YAN Hui;SHAO Ming-ming;CHEN Xiao-yang

Online:2005-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用溶胶-凝胶工艺在Si(100)衬底上制备了Ba2 TiSi2O8(BTS)薄膜.通过XRD衍射、傅立叶红外(FT-IR)、拉曼(Raman)散射光谱和原子力显微镜(AFM)对薄膜的显微结构进行了表征.AFM分析显示,BTS薄膜表面光滑,晶粒尺寸在0.30～0.50μm.薄膜结构分析表明:随着退火温度的增加,BTS薄膜的结晶度增加,薄膜结构变得更加致密.同时,随着退火温度的升高,晶胞尺寸出现了收缩,导致了BTS薄膜的四方比c/a从0.613上升到0.618,将对薄膜的压电性能产生影响.

中图分类号:

O484.1

朱满康;代伍坤;侯育冬;严辉;邵明明;陈晓阳. 溶胶-凝胶法Ba2TiSi2O8铁电薄膜的制备及结构表征[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(2): 283-287.

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