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人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (7): 1626-1634.

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一种热量补偿结构在多晶硅定向凝固设备中的应用研究

朱徐立;洪永强   

  1. 厦门大学机电系,厦门,361005
  • 出版日期:2014-07-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    福建省高校产学合作科技重大项目(2012H6023)

Study on Application of Heat Compensation Structure in Polycrystalline Silicon Directional Solidification Equipment

ZHU Xu-li;HONG Yong-qiang   

  • Online:2014-07-15 Published:2021-01-20

摘要: 定向凝固(DS)是冶金法提纯太阳能级多晶硅的重要工艺环节.以保证垂直的晶体生长方向,维持良好的固液相界面形态为目的,设计了一种带有热量补偿结构的多晶硅定向凝固设备,用以替代常规设备的侧壁加热装置,在满足工艺要求的同时达到节能减排、降低成本的目标.进行理论分析和数值模拟来阐述原理与设计结构,对优化凝固工艺、设备结构、控制方法提供了理论依据与技术支持.

关键词: 多晶硅;定向凝固;固液相界面;热量补偿;数值模拟

中图分类号: