摘要： 采用溶胶凝胶法在普通载玻片上制备了Sn-Al共掺杂ZnO薄膜(ZASO薄膜).利用XRD、扫描电子显微镜、霍尔测试仪、双电测四探针测试仪和紫外-可见分光光度计等设备,研究了Sn-Al掺杂浓度、预烧温度对氧化锌薄膜的晶体结构和光电性能的影响.结果表明:预烧温度为500℃,Sn、Al掺杂浓度分别为1.0at;时,得到的ZASO薄膜的综合光电性能最好,晶粒尺寸较大,方块电阻可达3.3 kΩ/□,光学透过率达92.9;.
中图分类号:
刘涛;赵小如;金宁. Sn-Al共掺杂ZnO薄膜的制备及其光电性能[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(3): 740-745.
LIU Tao;ZHAO Xiao-ru;JIN Ning. Synthesis and Photoelectric Properties of Sn-Al Co-doped ZnO Films[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2015, 44(3): 740-745.
E-mail Alert
RSS