基于RSM的单晶Si高速线锯切割力试验研究

人工晶体学报 ›› 2016, Vol. 45 ›› Issue (8): 2067-2073.

基于RSM的单晶Si高速线锯切割力试验研究

麻磊;李淑娟;李浩;王嘉宾

西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安,710048

出版日期:2016-08-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(51175442);陕西省基金重点项目(2016JZ011);陕西省重点实验室项目(2014SZS10-Z01);西安市碑林区项目(102-433415010)

Experimental Research on Monocrystalline Si High-speed Wire Sawing Force Based on RSM

MA Lei;LI Shu-juan;LI Hao;WANG Jia-bin

Online:2016-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用Box-Behnken Design (BBD)设计实验,研究高速线锯切割过程中线锯速度、进给速度和工件转速三个工艺参数对单晶Si切割力的影响,通过曲面响应法(Response surface methodology,RSM)建立单晶Si片切割力的响应模型,并进行方差分析,获得了高速线锯切割单晶Si过程中不同工艺参数对切割力的影响规律和切割力最小时的工艺参数.试验结果表明该模型能实现单晶Si切割过程的切割力预测.

中图分类号:

TH162

麻磊;李淑娟;李浩;王嘉宾. 基于RSM的单晶Si高速线锯切割力试验研究[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(8): 2067-2073.

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