摘要： 针对现役电子级多晶硅还原炉炉内气体循环不强、硅棒桥接处沉积质量较差的问题,提出了调整喷嘴直径的优化方案,并利用建模工具建立了原有设计和优化设计的物理模型,对炉体内部的混合气体流动、硅芯电阻加热、辐射传热等进行了数值模拟计算,计算结果收敛,经后处理得到不同设计下炉体内部流速、温度及硅棒表面温度分布云图.实验表明,在其他工艺条件不变的情况下,优化设计可以提供比原有设计更高的沉积速率和致密料比例.
中图分类号:
梁世民;张胜涛;何银凤;付昊;赵丽丽. 基于数值模拟电子级多晶硅还原 炉流动结构改进研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(3): 545-549.
LIANG Shi-min;ZHANG Sheng-tao;HE Yin-feng;FU Hao;ZHAO Li-li. Flow Structure Improvement of Electronic Grade Polysilicon Reactor Based on Numerical Simulation[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2019, 48(3): 545-549.
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