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人工晶体学报 ›› 1998, Vol. 27 ›› Issue (2): 152-155.

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退火温度对InP晶体中Er3+离子的发光特性影响的研究

张喜田;王玉玺   

  1. 哈尔滨师范大学物理系,哈尔滨,150080
  • 出版日期:1998-02-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    哈尔滨师范大学校科研和教改项目

Study of the Influence of Annealing Temperature on Luminescence Characteristics of the Er3+ Ions in InP Crystal

Zhang Xitian;Wang Yuxi   

  • Online:1998-02-15 Published:2021-01-20

摘要: 利用离子注入法,以300keV的能量,7×1014cm-2的剂量,在室温下,对(100)InP晶体进行稀土(RE)元素Er的注入;分别在600℃、650℃、700℃、750℃、800℃温度下,采用安瓿闭管恒温退火20h.二次离子质谱仪(SIMS)观测到稀土元素Er原子在InP中的分布,直到800℃时几乎没有变化;在77K温度下,观测到InP中Er3+离子的1.54μm特征光致发光(PL)峰.提出退火温度对InP中Er3+离子的光致发光强度影响的机理.

关键词: 离子注入;光致发光;配位体;稀土元素;半导体材料;磷化铟

中图分类号: