氨气浓度对碳纳米管生长影响的研究

人工晶体学报 ›› 2004, Vol. 33 ›› Issue (1): 100-104.

氨气浓度对碳纳米管生长影响的研究

王必本;张兵;郑坤;郝伟;王国菊;王波;朱满康;严辉

北京工业大学应用数理学院,北京,100022;北京工业大学量子材料实验室,北京,100022

出版日期:2004-02-15 发布日期:2021-01-20

Study on Influences of Ammonia Concentration on Growth of Carbon Nanotubes

Online:2004-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 利用等离子体增强化学气相沉积系统,用CH4、NH3和H2为反应气体,在沉积有100nm厚Ta过渡层和60nm厚NiFe催化剂层的Si衬底上制备了碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它们的生长和结构.结果表明当氨气浓度为20;、40;和60;时,碳纳米管的平均长度分别为3.88μm、4.52μm和6.79μm,而其平均直径变化不大,均在240nm左右.最后,分析讨论了氨气浓度对碳纳米管生长和结构的影响.

中图分类号:

O631.71

王必本;张兵;郑坤;郝伟;王国菊;王波;朱满康;严辉. 氨气浓度对碳纳米管生长影响的研究[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(1): 100-104.

氨气浓度对碳纳米管生长影响的研究

Study on Influences of Ammonia Concentration on Growth of Carbon Nanotubes

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