扫描电镜用于人工蛋白石模板中填充InP的形貌研究

人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (1): 60-64.

扫描电镜用于人工蛋白石模板中填充InP的形貌研究

谭春华;范广涵;许静;李述体;周天明;龙永福;孙慧卿

华南师范大学光电子材料与技术研究所,广州,510631;国防科技大学航天与材料工程学院,长沙,410073

出版日期:2005-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家重点基础研究发展计划(973计划)(5130702)

Morphology Research on InP-infiltrated Artificial Opal Template by SEM

TAN Chun-hua;FAN Guang-han;XU Jing;LI Shu-ti;ZHOU Tian-ming;LONG Yong-fu;SUN Hui-qing

Online:2005-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 扫描电子显微镜是对人工欧泊光子晶体进行形貌观察、研究的重要手段.本文利用扫描电子显微镜对人工欧泊晶体及其填充InP后的形貌进行了分析.结果发现,二氧化硅微球短程有序而在较大的区域则出现台阶、空位和失配等缺陷;在选定生长条件下,InP在SiO2球空隙间具有较高的填充率和较好的结晶质量.此项研究为制备三维InP光子晶体提供了科学依据.

中图分类号:

O766.1

谭春华;范广涵;许静;李述体;周天明;龙永福;孙慧卿. 扫描电镜用于人工蛋白石模板中填充InP的形貌研究[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(1): 60-64.

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