表面处理对蓝宝石衬底的影响

人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (3): 431-434.

表面处理对蓝宝石衬底的影响

王银珍;彭观良;刘世良;李抒智;邹军;周圣明;徐军

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

出版日期:2005-06-15 发布日期:2021-01-20

Influence of Surface Treatment on the Sapphire Substrate

WANG Yin-zhen;PENG Guang-liang;LIU Shi-liang;LI Shu-zhi;ZOU Jun;ZHOU Sheng-ming;XU Jun

Online:2005-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 蓝宝石衬底是目前最为普遍的一种衬底材料,是生长GaN、ZnO材料最常用的衬底.本文用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和高分辨X射线双晶洐射对蓝宝石衬底进行了分析测试,系统研究了经过机械抛光、化学机械抛光、化学腐蚀等表面处理对蓝宝石衬底表面性能的影响.结果表明经过化学机械抛光随后再经腐蚀后的蓝宝石衬底的表面性能最好.

中图分类号:

王银珍;彭观良;刘世良;李抒智;邹军;周圣明;徐军. 表面处理对蓝宝石衬底的影响[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(3): 431-434.

WANG Yin-zhen;PENG Guang-liang;LIU Shi-liang;LI Shu-zhi;ZOU Jun;ZHOU Sheng-ming;XU Jun. Influence of Surface Treatment on the Sapphire Substrate[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2005, 34(3): 431-434.

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