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人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (1): 201-205.

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φ200mm蓝宝石晶体生长工艺研究

于旭东;孙广年;张会选;吕进;王进学;孙亮   

  1. 浙江巨兴光学材料有限公司,衢州,324004
  • 出版日期:2006-02-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    科技部专项基金(浙江省科技厅2001BA321C)

Study on Crystal Growth Parameters for φ200mm Sapphire Single Crystal

YU Xu-dong;SUN Guang-nian;ZHANG Hui-xuan;LU Jin;WANG Jin-xue;SUN Liang   

  • Online:2006-02-15 Published:2021-01-20

摘要: 采用单晶提拉炉成功生长出φ200mm ×180mm大尺寸Al2O3晶体.探讨了晶体生长工艺参数和晶体开裂之间的关系,并讨论了晶体中的热应力、热应变、温度梯度、提拉速度之间的关系,分析了影响晶体质量主要是晶体开裂的原因,设计出生长大尺寸Al2O3晶体的最佳工艺条件.

关键词: 大直径Al2O3晶体;温度梯度;晶体开裂

中图分类号: