人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (5): 953-957.
杨大鹏;赵永年;李英爱;苏作鹏;杜勇慧;吉晓瑞;杨旭昕;宫希亮;张铁臣
出版日期:
2006-10-15
发布日期:
2021-01-20
YANG Da-peng;ZHAO Yong-nian;LI Ying-ai;SU Zuo-peng;DU Yong-hui;JI Xiao-rui;YANG Xu-xin;GONG Xi-liang;ZHANG Tie-chen
Online:
2006-10-15
Published:
2021-01-20
摘要: 本文用射频磁控溅射方法在片状c-BN晶体基底上生长了c-BN薄膜,显微拉曼光谱(μ-RS)和扫描电子显微镜(SEM)测试结果表明:沉积的薄膜是大约10μm厚、高结晶性、电子透明的高纯c-BN薄膜.岛状和层状生长模式在试验中清晰的展示出来.同时在生长的c-BN薄膜内部和被遮盖的基底部分上发现了籽晶.
中图分类号:
杨大鹏;赵永年;李英爱;苏作鹏;杜勇慧;吉晓瑞;杨旭昕;宫希亮;张铁臣. 用射频磁控溅射法在c-BN晶体基底上生长c-BN薄膜[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(5): 953-957.
YANG Da-peng;ZHAO Yong-nian;LI Ying-ai;SU Zuo-peng;DU Yong-hui;JI Xiao-rui;YANG Xu-xin;GONG Xi-liang;ZHANG Tie-chen. Growth of Cubic Boron Nitride Thin Film on c-BN Crystal Substrate by RF Magnetron Sputtering[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2006, 35(5): 953-957.
[1] | 林海鑫, 高德东, 王珊, 张振忠, 安燕, 张文永. 大尺寸直拉硅单晶生长的多物理场建模与优化[J]. 人工晶体学报, 2025, 54(1): 17-33. |
[2] | 唐嘉, 孙志成, 张祖邦, 罗辉. 大尺寸CsPbBr3晶体的熔体法生长研究进展[J]. 人工晶体学报, 2025, 54(1): 1-10. |
[3] | 许万里, 甘云海, 李悦文, 李彬, 郑有炓, 张荣, 修向前. 高均匀性6英寸GaN厚膜的高速率HVPE生长研究[J]. 人工晶体学报, 2025, 54(1): 11-16. |
[4] | 赵青松, 牛晓东, 顾小英, 狄聚青. 大尺寸超高纯锗单晶的生长和性能研究[J]. 人工晶体学报, 2025, 54(1): 34-39. |
[5] | 王坤元, 梁小燕, 闵嘉华, 张继军. 原位热处理对碲锌镉晶体质量和性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(12): 2079-2084. |
[6] | 刘帅伟, 关春龙, 鲁云祥, 易剑, 江南, 西村一仁. 金刚石在富氧环境下的高效抛光及其材料去除机制研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(12): 2094-2103. |
[7] | 肖海, 曾向东, 曾英, 熊国元, 赵淑芳, 张学宁. 氯化铷结晶介稳区宽度与生长动力学研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(12): 2141-2149. |
[8] | 郭俊, 刘坚, 王泽彬, 陈鹏, 宋青松, 马杰, 王庆国, 徐晓东, 徐军. Nd∶ASL单晶光纤的生长、光谱和激光性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1877-1883. |
[9] | 李泓沅, 孙敦陆, 张会丽, 罗建乔, 权聪, 程毛杰. 含镓石榴石系列大晶格常数磁光衬底单晶研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1657-1668. |
[10] | 周霖涛, 赵涛, 孙志刚, 姜林文, 潘尚可, 潘建国, 郑燕青. 坩埚下降法生长2英寸镱掺杂钙铌镓石榴石单晶[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1669-1674. |
[11] | 安康, 许光宇, 吴海平, 张亚琛, 张永康, 李利军, 李鸿, 张旭芳, 刘峰斌, 李成明. 金刚石化学机械抛光研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1675-1687. |
[12] | 丁雨憧, 张灵, 李海林, 张月, 唐杨, 强铭, 林辉. 水平定向结晶法生长浓度渐变Yb∶YAG激光晶体及光谱性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1688-1698. |
[13] | 王文凯, 潘秀红, 胡雨青, 刘学超, 陈小红, 陈锟, 方婧红, 贺欢, 倪津崎. GaFeO3∶Mg晶体的生长及磁学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1699-1704. |
[14] | 郑权, 刘学超, 王浩, 朱新峰, 潘秀红, 陈锟, 邓伟杰, 汤美波, 徐浩, 吴鸿辉, 金敏. 铝掺杂对硒化铟晶体结构与性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(9): 1528-1535. |
[15] | 覃佐燕, 金雷, 李文良, 谭俊, 何广泽, 武红磊. PVT法AlN晶体生长模式调控研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(9): 1542-1549. |
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