采用两步压强法制备优质微晶硅薄膜

人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (6): 1203-1208.

采用两步压强法制备优质微晶硅薄膜

朱秀红;陈光华;刘国汉;丁毅;何斌;张文理;马占洁;郜志华;李志中

北京工业大学材料科学与工程学院,北京,100022;兰州大学物理系,兰州,730000

出版日期:2006-12-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家重点基础研究发展计划(973计划)(G2000028201-1)

Preparation of High-quality Hydrogenated Microcrystalline Silicon Thin Films Using Two-step-pressure Method

ZHU Xiu-hong;CHEN Guang-hua;LIU Guo-han;DING Yi;HE Bin;ZHANG Wen-li;MA Zhan-jie;GAO Zhi-hua;LI Zhi-zhong

Online:2006-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 针对氢化微晶硅薄膜吸收系数较低、制备需要较高厚度,从而需要较高沉积速度的问题,考虑到压强对沉积速度及晶化比的重要影响,在分析了单一压强法制备薄膜优缺点的基础上,提出了采用两步法来制备高质量微晶硅薄膜的方法.即先采用高压制备薄膜2min,减小非晶转微晶的孵化层厚度,然后再采用低压制备薄膜18min,提高薄膜的致密度及减小氧含量,最后制备出了光敏性较高,晶化比较大并且光照稳定性也较好的优质氢化微晶硅薄膜.

中图分类号:

TQ174

朱秀红;陈光华;刘国汉;丁毅;何斌;张文理;马占洁;郜志华;李志中. 采用两步压强法制备优质微晶硅薄膜[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(6): 1203-1208.

ZHU Xiu-hong;CHEN Guang-hua;LIU Guo-han;DING Yi;HE Bin;ZHANG Wen-li;MA Zhan-jie;GAO Zhi-hua;LI Zhi-zhong. Preparation of High-quality Hydrogenated Microcrystalline Silicon Thin Films Using Two-step-pressure Method[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2006, 35(6): 1203-1208.

[1]	甘世雁, 梅炳初, 李威威. Er,Na:CaF₂透明陶瓷的制备与光谱性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(12): 2059-2065.
[2]	郭怡, 牛苗苗. 热障涂层用(Sm_0.5Yb_0.5)₃TaO₇陶瓷的热物理性能[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(12): 2066-2072.
[3]	吉浩浩, 陈念江, 章健, 杨彧涵, 刘禹, 王士维. 3D打印钇铝石榴石基激光陶瓷研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1840-1867.
[4]	李晴, 姜珍兴, 王莹, 马杰, 王俊, 刘鹏, 章健, 范金太, 于浩海, 张怀金, 唐定远. Yb∶Lu₂O₃透明陶瓷的制备及激光性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1884-1891.
[5]	刘子玉, 郑雯雯, 冯亚刚, 叶君豪, 刘鹏, 杨现锋, 李江. 不同掺杂浓度Er∶Lu₂O₃透明陶瓷的制备与性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1892-1900.
[6]	冯亚刚, 田丰, 刘子玉, 刘奕炀, 吴乐翔, 李廷松, 李江. 层状复合结构YAG/Yb∶YAG透明陶瓷的制备与性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1901-1908.
[7]	刘强, 李想, 郭礼豪, TOCI Guido, PIRRI Angela, PATRIZI Barbara, VANNINI Matteo, 吴俊林, 李江. Yb∶CaF₂透明陶瓷的压力辅助烧结及其性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1918-1926.
[8]	冯桂青, 徐刘伟, 袁亚舟, 郑熠, 黄鑫, 陈旻, 王帅华, 吴少凡. 稀土离子过量掺杂TSAG及YAG/TSAG复合结构透明陶瓷的制备与性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1944-1955.
[9]	吴文杰, 何代华, 程思远, 何夕云. PLZT透明陶瓷的微区组分调控及梯度设计与电光性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1956-1963.
[10]	曲胜箫, 穆浩洁, 杨亮, 李晓东, 史树君, 孙旭东. 基于双分散剂协同作用胶态成型制备氧化钇透明陶瓷[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1981-1989.
[11]	刘小龙, 付仲超, 吴南, 龙海波, 邵岑, 任轶, 侯朝霞, 张乐. 纳米Y₂O₃粉体酸洗处理对透明陶瓷光学质量的影响[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1990-1996.
[12]	刘作冬, 潘其悦, 刘瑞, 曹悦, 李思雅, 王嘉顺, 于永生, 刘鹏, 井强山. Y³⁺∶CaF₂透明陶瓷的制备及其显微结构研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 1997-2003.
[13]	郭浩然, 闫晖, 单英春, 高铭泽, 徐久军, 李江涛. Pechini法制备Y₂O₃的煅烧温度对无压烧结AlON陶瓷透光性的影响[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 2004-2012.
[14]	雷牧云, 李祯, 王颖, 何敬晖, 王立弟, 庞珍丽. 镁铝尖晶石透明陶瓷吸收系数研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(11): 2013-2021.
[15]	苗健, 邵辉, 曹瑞龙. K_0.5Na_0.5NbO₃掺杂对0.94Bi_0.5Na_0.5TiO₃-0.06BaTiO₃陶瓷储能性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(5): 882-888.