坩埚预处理技术在氮化铝晶体生长工艺中的应用

人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (6): 1359-1362.

坩埚预处理技术在氮化铝晶体生长工艺中的应用

武红磊;郑瑞生;孙秀明;罗飞;杨帆;刘文;敬守勇

深圳大学光电子学研究所,深圳,518060

发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(60376003;60576005);广东省自然科学基金(04011297);教育部科学技术基金([2005]3号);深圳市科技计划费用项目(200517)

Application of Pretreated Crucible Technology to the Growth of AlN Crystals

WU Hong-lei;ZHENG Rui-sheng;SUN Xiu-ming;LUO Fei;YANG Fan;LIU Wen;JING Shou-yong

Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 在氮化铝晶体生长工艺中,坩埚的使用寿命是主要技术难点之一.实验发现,在钨坩埚体和盖之间放置内径和外径与坩埚相同的石墨环,在氮气环境下进行一次高温处理,使钨坩埚体与盖接触的部位形成碳化钨保护层,可以有效地解决高温下钨坩埚体与盖相粘结的问题,大大提高了坩埚的使用寿命.使用经过预处理的钨坩埚,用物理气相法生长出φ0.8mm×1.5mm氮化铝单晶体和φ36mm×5mm氮化铝多晶片.

中图分类号:

O782

武红磊;郑瑞生;孙秀明;罗飞;杨帆;刘文;敬守勇. 坩埚预处理技术在氮化铝晶体生长工艺中的应用[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(6): 1359-1362.

WU Hong-lei;ZHENG Rui-sheng;SUN Xiu-ming;LUO Fei;YANG Fan;LIU Wen;JING Shou-yong. Application of Pretreated Crucible Technology to the Growth of AlN Crystals[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2006, 35(6): 1359-1362.

[1]	林海鑫, 高德东, 王珊, 张振忠, 安燕, 张文永. 大尺寸直拉硅单晶生长的多物理场建模与优化[J]. 人工晶体学报, 2025, 54(1): 17-33.
[2]	李泓沅, 孙敦陆, 张会丽, 罗建乔, 权聪, 程毛杰. 含镓石榴石系列大晶格常数磁光衬底单晶研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1657-1668.
[3]	周霖涛, 赵涛, 孙志刚, 姜林文, 潘尚可, 潘建国, 郑燕青. 坩埚下降法生长2英寸镱掺杂钙铌镓石榴石单晶[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1669-1674.
[4]	丁雨憧, 张灵, 李海林, 张月, 唐杨, 强铭, 林辉. 水平定向结晶法生长浓度渐变Yb∶YAG激光晶体及光谱性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1688-1698.
[5]	王文凯, 潘秀红, 胡雨青, 刘学超, 陈小红, 陈锟, 方婧红, 贺欢, 倪津崎. GaFeO₃∶Mg晶体的生长及磁学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1699-1704.
[6]	覃佐燕, 金雷, 李文良, 谭俊, 何广泽, 武红磊. PVT法AlN晶体生长模式调控研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(9): 1542-1549.
[7]	孙元龙, 胡子钰, 郑国宗. 大尺寸CH₃NH₃PbBr₃晶体生长和光电性能表征[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(8): 1313-1318.
[8]	陈鑫鑫, 韩佳力, 潘建国. 大尺寸高质量CsCu₂I₃晶体生长与发光性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(7): 1106-1111.
[9]	李琳, 张沛雄, 谭俊成, 朱思祁, 尹浩, 李真, 陈振强. Er掺杂PbF₂晶体的局域团簇结构与光谱性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(7): 1112-1120.
[10]	凌昊, 徐乐, 陈思贤, 唐远之, 孙海滨, 郭学, 冯玉润, 胡强强. 溶液法生长大尺寸CsCu₂I₃钙钛矿单晶及其光学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(7): 1121-1126.
[11]	倪浩然, 陈亚, 王黎光, 芮阳, 赵泽慧, 马成, 刘洁, 张兴茂, 赵延祥, 杨少林. 热屏结构对300 mm半导体级单晶硅生长过程温度分布影响的数值模拟[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(7): 1196-1211.
[12]	于行, 赵琪, 齐小方, 马文成, 徐永宽, 胡章贵. 热交换法掺钛蓝宝石晶体生长过程中内辐射传热对晶体热应力的影响[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(7): 1212-1221.
[13]	王鸿雁, 王世武, 聂奕, 张行愚, 张芳, 许辉, 李瑞茂, 匡永飞. 大尺寸优质Cr³⁺∶BeAl₂O₄晶体生长与性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(6): 947-952.
[14]	施宇峰, 王鹏飞, 穆宏赫, 苏良碧. 尺寸效应对坩埚下降法生长氟化钙晶体影响机制的数值模拟分析[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(6): 973-981.
[15]	艾家辛, 万洪平, 钱俊兵, 韦华. VGF法磷化铟单晶炉加热器对炉内热场分布影响的研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(5): 781-791.